Тонкоплівковий резистор

ТонкоплІвковий резистор, що містить резистивну плівку, розміщену на діелектричній підкладці, та контактні майданчики, яка відрізняється тим, що резистивна плівка виготовлена в вигляді двох прямокутників різної площі, які накладені один на одний, причому нижня права частина одного перекриває верхню праву частину другого Корисна модель відноситься до мікроелектроніки і може бути використаний при створенні тонкоплівкових пасивних елементів підвищенно'і точності. Відомі різні конструкції тонкоплівкових резисторів, які значно ускладненні, що не завжди економічно оправдані. Вони дозволяють проводити підгонку: анодуванням, електроіскровою обробкою, електронним променем ( патент Японії №561771; патент Японії №55-43619; патент США №3621441; патент США №4201970; патент Франції №2485246 )за рахунок відсікання частини плівки, різання перемичок, випаровування частини плівки і т.п. Однак конструкції не дозволяють проводити одночасно як грубу, так і плавну підгонку. Найбільш близьким по технічній суті до заявленого є тонкоплівковий резистор ТПР, що містить резистивну плівку, розміщену на діелектричній підкладці та контактні майданчики (патент США №4169461) Однак такий ТПР не допускає проведення незалежних грубої та плавної підгонки, а лише підгонку з крутизною яка змінюється по складному закону, бо усунення резистивного матеріалу здійснюється від основи ТПР в напрямку склепистої області, яка не захоплюється контактними майданчиками В основу корисної моделі поставлене завдання створення тонкоплівкового резистора, у якому нове конструктивне виконання резистивного шару дозволило б забезпечити грубу і тонку підгонку і за рахунок цього значно підвищити точність пасивних елементів. Поставлене завдання вирішується тим, що в ТПР, який містить резистивну плівку, розміщену на діелектричній підкладці та контактні майданчики, згідно винаходу, резистивна плівка виготовлена в вигляді двох прямокутників різної площі, які накладені одна на одну, причому нижня права частина одної перекриває верхню праву частину другої. Виконання резистивного шару у вигляді плівки, яка виконана в вигляді двох прямокутників різної площі, які накладені одна на одну, причому нижня права частина одної перекриває верхню праву частину другої, дає можливість забезпечити грубу і тонку підгонку і за рахунок цього значно підвищити точність пасивних елементів. На Фіг. показаний тонкоплівковий резистор. 1контактні майданчики; 2- резистивна плівка; 3діелектрична підкладка, на Фіг. зображено також 4лазерний різ при плавній підгонці; 5- лазерний різ при грубій підгонці; 6-напрямок переміщення променя при плавній і грубій підгонці; ТПР містить діелектричну підкладку 3, на якій розташована резистивна плівка 2, та контактні майданчики-виводи 1. Резистивна плівка 2 виготовлена в вигляді двох прямокутників різної площі, які накладені одна на одну, причому нижня права частина одної перекриває верхню праву частину другої і визначається, виходячи з інтервалу можливої підгонки і похибки, яка вимагається Топологія ТПР представляє собою два прямокутники, наприклад 0,5x1 Омм та 4х10мм з загальною площею 45мм , які накладаються один на одного, загальний вихідний опір якого дорівнював 950±10Ом Контроль опору проводився підключенням пристою для вимірювання до контактних майданчиків 1, виконаних з міді, які також наносяться вакуумним термічним випаровуванням з молібденового випаровувача коробчатого типу. О) со со ю 5339 Після вимірювання отриманого значення опору ТПР, його встановлюють на предметному столику установки лазерної підгонки, яка оснащена технологічним ОКГ типу Луч-21, діаметр плями в площині фокусування складає