Пристрій для визначення концентрації мікрочасток в рідині

Устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее канал транспортировки исследуемой жидкой среды, проточную кювету, оптико-электронный блок освещения и регистрации микрочастиц, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что в устройство дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и деаэратор, причем выход д е а э р а т о р а , соединен со входом канала транспортировки среды. Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения концентрации твердых примесей в высокочистых жидких средах, и может быть использовано в электронной и химической промышленности для определения степени очистки веществ. Известны устройства для определения концентрации и размерного распределения частиц в жидкости по интенсивности света, рассеянного частицами, которые, перемещаясь в потоке исследуемой жидкости, пересекают освещенную рабочую зону в •проточной кювете [1]. Наиболее близким по технической сущности к предполагаемому изобретению является автоматический проточноультрамикроскопический анализатор количества и размеров микрочастиц в жидких средах ФПУ-1 [2]. Анализатор содержит ка нал транспортировки исследуемой жидкой среды, проточную кювету, оптико-электронный блок освещения и регистрации, Частицы, взвешенные в жидкой среде, перемещаются по каналу подачи жидкости через кювету, пересекая освещенную зону, рассеивают световой потох. Рассеянный свет регистрируется фотоприемником и обрабатывается электронной схемой, которая ведет подсчет микрочастиц. В условиях современного производства изделий микроэлектроники необходима непрерывная и оперативная информация о соответствии среды нормам содержания микрочастиц. Непрерывный контроль можно обеспечить, подключив прибор непосредственно к магистрали подачи жидкости в помещении, где она используется. По действующим стандартам температура в чистых помещениях должна составлять 20 - 25 с > о § О 9792 градусов Цельсия. Коммуникации по которым поступают технологические жидкости проходят за пределами чистых помещений, где температура преобладающую часть года ниже. Поскольку жидкие технологические 5 среды представляют собой, в основном, воду и водные растворы, нагрев их приводит к выделению растворенного воздуха и образования микропузырьков. Пересекая вместе с потоком жидкости рабочую зону, они реги- 10 стрируются как микрочастицы, что вносит погрешности в результаты измерения. Часть пузырей оседает на прозрачных стенках кюветы, что приводит к повышению светорассеяния, а значит, и уровня шумов. 15 В основу изобретения поставлена задача создания устройства, в котором обеспечивается нагрев жидкости и выделение растворенного а ней воздуха до момента подачи исследуемой жидкости в проточную 20 кювету, и вследствие этого повышается точность измерений. Поставленная задача решается тем, что в устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее 25 канал транспортировки исследуемой среды, проточную кювету, оптико-электронный блок освещения и регистрации микрочастиц, согласно изобретению дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и деаэратор, причем выход деаэратора соединен со входом канала транспортировки среды. На чертеже изображена схема предлагаемого устройства. Устройство содержит нагреватель 1, деаэратор 2, канал транспортировки исследуемой среды 3, проточную кювету 4, оптико-электронный блок 5 освещения и регистрации микрочастиц. Оптико-электронный блок S содержит осветитель, формирующий освещенную рабочую зону в проточной кювете, и оптико-электронную схему регистрации микрочастиц. Устройство работает следующим образом. Исследуемая высокочистая жидкость проходит нагреватель, где ее температура повышается до уровня окружающей среды, т.е. до температуры элементов устройства. Растворенный воздух выделяется в деаэраторе. В результате, при прохождении жидкости по тракту устройства, не происходит образования микропузырьков воздуха. Таким образом, в предлагаемом устройстве устраняется погрешность в определении концентрации микрочастиц, вызванная регистрацией микропуэырьков воздуха. (їло* Упорядник Замовлення 4552 1 І'ОІШ'.ТЙ Техред М.Моргентал Коректор Н. МІлюкова Тираж Підписне Державне патентне відомство УкраТни, 254655, ГСП, КиТв-53. Львівська пл., 8 Відкрите акціонерне товариство "Патент", м. Ужгород, вул.ГагарІна, 101