Саваневський Володимир Григорович

Номер патенту: 13520

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Гасько Любомир Захарович, Воронін Валерій Олександрович, Богдановський Юрій Миколайович, Бідник Дмитро Ілліч, Сарапін Ярослав Миколайович, Саваневський Володимир Григорович

МПК: H01L 21/225

Мітки: дифузії, планарних, джерел, спосіб, твердих, виготовлення, фосфора

Формула / Реферат:

Способ изготовления твердых планарных ис­точников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения стойкости ис­точников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диф­фузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.

Номер патенту: 9792

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Саваневський Володимир Григорович, Печенков Генадій Олексійович, Білий Олександр Іванович, Гетьман Василь Богданович, Кучер Богдан-Григорій Гнатович, Школьний Арнольд Константинович, Лук'янець Володимир Михайлович

МПК: G01N 21/17, G01N 21/27

Мітки: мікрочасток, концентрації, визначення, пристрій, рідини

Формула / Реферат:

(57) Устройство для определения концентрации микрочастиц в жидкости, содержащее канал транспортировки исследуемой жидкой среды, проточную кювету, оптико-электронный блок освещения и регистрации микрочастиц, отличающееся тем, что в устройство дополнительно введены последовательно соединенные нагреватель и деаэратор, причем выход деаэратора, соединен со входом канала транспортировки среды.