Спосіб виготовлення електромагнітного екрана

Спосіб виготовлення електромагнітного екрана, що включає нанесення магнітопровідного покриття у вакуумі, який відрізняється тим, що магнітопровідне покриття наносять при циклічному пе 35760 формація пластмасового корпусу через перегрів за рахунок виділення тепла при конденсації, а при швидкості напилення менше 10 нм/хв знижується ефективність покриття через окислення атомів металу залишковими газами. Послідовне нанесення магнітопровідного покриття шляхом напилення магнітного шару та немагнітного прошарку із двох одночасно працюючих джерел на циклічно переміщувані корпуси зі швидкістю напилення немагнітним прошарків в межах 12 нм/хв дозволяє здійснити розділення магнітних шарів для запобігання виникненню стовпчастої структури при збереженні магнітної взаємодії між шарами. При зниженні швидкості нанесення і, відповідно, товщини немагнітних прошарків нижче вказаної, покриття стає як одношарове зі стовпчастою висококоерцитивною структурою, для якої початкова магнітна проникливість близька до одиниці, а при збільшені швидкості нанесення прошарків вище 2 нм/хв, зменшується взаємодія між шарами і характеристика багатошарового покриття стає простою суперпозицією характеристик окремих шарів з початковою магнітною пронизливістю не більше 200. Те саме стосується також швидкості переміщення корпусу, а саме: збільшення швидкості вище 5 циклів/хв призводить до зниження товщини немагнітних прошарків нижче допустимої з виникненням стовпчастої структури, а зменшення швидкості нижче 0,1 цикла/хв призводить до росту товщини прошарку вище оптимальної. При вказаному співвідношенні швидкостей нанесення відносна початкова магнітна проникливість покриття досягає 10000-15000, що забезпечує високу ефективність екранування магнітної складової електромагнітного випромінювання. Для немагнітних прошарків використовують матеріал з великою спорідненістю до кисню, наприклад, кремній, титан, цирконій, тантал, хром або ніобій. Мінімальний час нанесення магнітопровідного покриття вибирають з умови відсутності магнітного насичення відповідно до наведеної вище формули. При зменшенні часу нанесення магнітопровідного покриття нижче розрахованого спостерігається насичення екрану, наприклад, низькочастотним магнітним полем. При цьому частина цього поля не замкнеться по екрану, а вийде назовні. Крім того, в зв'язку з насиченням екрану його магнітна проникливість знижується до одиниці. Ефективність екранування високочастотного магнітного поля в цьому випадку також різко зменшується. Перевищення часу нанесення магнітного покриття в 1,5-2,5 рази відносно розрахованого не по гіршує ефективність екрану, але знижує продуктивність виробництва. Приклад виконання способу. Пластмасові корпуси, наприклад, корпус дисплея персонального комп'ютера чи корпуси телефонів з попередньо нанесеним електропровідним покриттям (або без нього), встановлюють на барабани в робочій камері установки вакуумного напилення, в якій знаходяться три джерела матеріалів для напилення, наприклад, три магнетронні системи іонно-плазмового розпилення з мішенями із пермалою, титану та міді (остання - у випадку попереднього нанесення електропровідного покриття). Вакуумну камеру відкачують до тиску (1-6)·10-3 Па, напускають в неї робочий газ аргон до тиску 0,1-0,5 Па і вмикають обертання барабану зі швидкістю 0,1-5 циклів/хв. Після цього вмикають одночасно магнетронні системи для напилення титану і пермалою, регулюють потужність живлення магнетронним систем таким чином, щоб швидкість напилення титану була 1-2 нм/хв., а швидкість напилення пермалою 10-20 нм/хв і здійснюють напилення багатошарового магнітопровідного покриття. При використанні пермалою з індукцією насичення Вs=0,62 Т, що напиляться зі швидкістю 20 нм/хв. для магнітостатичного екранування, наприклад, дисплеїв персональних комп'ютерів, які випромінюють електромагнітне поле з індукцією низькочастотної (600 Гц) магнітної складової В=2000 нТ. Достатній час нанесення, згідно з розрахунком за запропонованою формулою, становить 161 хвилину. По досягненню достатньої товщини покриття вимикають магнетронні системи і обертання барабану та дістають корпуси із робочої камери. Виготовлене відповідно до запропонованого способу магнітопровідне покриття має достатню електропровідність для забезпечення ефективного екранування електричної і магнітної складової електромагнітного випромінювання і тому може використовуватись в електромагнітних екранах і самостійно, тобто без електропровідного покриття. У випадку додаткового використання електропровідного покриття його можна наносити, наприклад, напиленням шару міді з питомим поверхневим опором в межах від 0,1 до 0,01 Ом/квадрат. Винахід дозволяє виготовити покриття на пластмасових корпусам з підвищеною на 20-30 дБ, порівняно з прототипом, ефективністю екранування електромагнітного випромінювання. 2 35760 __________________________________________________________ ДП "Український інститут промислової власності" (Укрпатент) Україна, 01133, Київ-133, бульв. Лесі Українки, 26 (044) 295-81-42, 295-61-97 __________________________________________________________ Підписано до друку ________ 2001 р. Формат 60х84 1/8. Обсяг ______ обл.-вид. арк. Тираж 50 прим. Зам._______ ____________________________________________________________ УкрІНТЕІ, 03680, Київ-39 МСП, вул. Горького, 180. (044) 268-25-22 ___________________________________________________________ 3