Пристрій керування газорозрядною електронною гарматою

Пристрій керування газорозрядною електронною гарматою, що містить газорозрядну електронну гармату, яка складається із холодного катода, навколо якого розміщено високовольтний роздільний ізолятор, анода, що з'єднаний з променево 3 43202 4 також магнітної фокусуючої системи, розташоваковольтний тліючий розряд, сила струму якого ної по обидві сторони променеводу, причому хорегулюється зміною тиску, утворюється прианодна лодний катод виконано багатопучковим, причому плазма, іони якої бомбардують холодний катод 1, частина пучків направлена в широкополосну розвибиваючи з його поверхні електрони, які формуподільну пучково-плазмову електромагнітну сисються в основний пучок 9 і допоміжні електронні тему, виконану у вигляді співвісно розташованих пучки 12. Через колектор 4 проходять основний магнітозв'язної уповільнюючої системи, колектора пучок 9 та допоміжні пучки 12, потрапляючи в упота відбивача, на виході якої введено функціональвільнюючу систему 5, яка складається з двох рений перетворювач, включений в систему керуванзонаторів, причому другий резонатор має значно ня тиском газу в газорозрядній електронній гармаменші розміри, ніж перший, і налаштовується на ті. вищу частоту, в порівнянні з вхідним резонатором, На Фіг.1 представлено схему пристрою керута підтримує довготривалу стабільність частоти і вання газорозрядною електронною гарматою, на високу потужність НВЧ-поля, уповільнює електроФіг.2 – представлено схему уповільнюючої систенні пучки, зокрема допоміжні пучки 12 відбиваютьми пристрою керування газорозрядною електрося від відбивача 6 тим самим підсилюючи основнною гарматою. ний електронний пучок 9, збільшуючи Пристрій керування газорозрядною електроконцентрацію частинок в ньому. Взаємодія швиднною гарматою (Фіг.1) містить холодний катод 1, ких електронів пучків, що формуються холодним розташований співвісно з анодом 3, що розділені катодом 1, з прианодною плазмою проходить в ізолятором 2, променевід 14, в якому співвісно широкому діапазоні частот. Найбільш ефективна розміщені колектор 4, уповільнююча система 5 взаємодія на власній частоті прианодної плазми, а (Фіг.2) та відбивач 6, а також магнітна фокусуюча також на електронній або іонній плазмовій частоті, система 7, прикріплена по обидві сторони промещо залежить від концентрації заряджених частиневоду 14, що з'єднаний з технологічною камерою нок плазми. Виконання променеводу у вигляді ши8, крім того коаксіальний вивід 13 зв'язаний з фунрокополосної розподільної пучково-плазмової елекціональним перетворювачем 10 та натікачем 11. ктромагнітної системи дозволяє значно підвищити Для кращого розуміння роботи пристрою позиціяефективність взаємодії електронного пучка з плами 9 та 12 позначено основний та допоміжні пучки змою. Підсилений вихідний сигнал виводиться електронів. через коаксіальний вивід 13 та за допомогою фунПристрій працює наступним чином. кціонального перетворювача 10, який представляє Відкачавши через променевід 14 газ, за допособою елемент зв'язку, реалізується обернений могою натікача газу 11 отримують робочий тиск зв'язок для контролю параметрами газорозрядної газу 1-10 Па. Між холодним катодом 1 та анодом електронної гармати. За допомогою магнітної фо3, що розділені ізолятором 2, який служить для кусуючої системи 7 основний електронний пучок 9 запобігання пробою електродів, прикладають прививодиться в технологічну камеру 8 та фокусуєтьскорюючу напругу 10-50 кВ, де запалюється висося на поверхні об'єкту. 5 Комп’ютерна верстка Г. Паяльніков 43202 6 Підписне Тираж 28 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601