Чутливий елемент газоаналізатора

1. Чутливий елемент газоаналізатора, який містить ізолюючу підкладинку, з однієї сторони якої розташований напівпровідниковий чутливий шар, а на протилежній стороні нагріваючий елемент, і електроди, який відрізняється тим, що ізолюючою підкладинкою є шар високоомного кри 3 76898 4 го відшарування чутливого шару від підкладинки. ного чутливого шару, його високий питомий електКрім того, механічний контакт нагріваючого ричний опір дозволяє електрично ізолювати легоелемента з підкладинкою обумовлює додатковий вані чутливі області і використовувати їх незалежтермічний опір при передачі тепла від нагріваючоно. го елемента до чутливого шару, що потребує підФормування однієї і більше легованих чутливищення температури нагріваючого елемента і вих областей, які мають підвищену чутливість до цим зменшує робочий ресурс чутливого елемента певного газу, дозволяє визначати присутність одгазоаналізатора. нієї і більше газових компонент одним чутливим Відомі аналоги призначені для визначення елементом за один цикл вимірів, а при наявності концентрації однієї газової компоненти, в той час калібровочних залежностей для кожної легованої як реальні газові середовища є сумішшю кількох чутливої області вимірювати і концентрацію газогазів. Визначення концентрації компонентів газових компонентів, що і розширює функціональні вого середовища є актуальною задачею, яка не можливості чутливого елемента газоаналізатора. вирішується за допомогою відомих аналогів при Легування високоомних кристалічних твердих використанні одного чутливого елемента, а викорозчинів ZnSxSe1-x, де 0 х 1,або Zn1-yMgySe, де ристання кількох елементів суттєво збільшує ви0 у 0,5, домішками які зменшують питомий електтрати на проведення вимірів. ричний опір легованої області, дає можливість Прототипом обраний останній із аналогів. формувати на цій підкладинці шар нагріваючого Задачею винаходу є підвищення надійності та елемента. Високий питомий опір самої підкладинзбільшення строку служби чутливого елементу, за ки ( кімн~1012Ом*см, роб~106Ом*см) дозволяє гарахунок підвищення адгезії чутливого елемента до льванічно ізолювати чутливий шар від електричнопідкладинки, а також розширення функціональних го струму нагрівача. можливостей формуванням не менше однієї чутКрім того, на відміну від аналогів, запропоноливої області на одній підкладинці, що мають підваний пристрій є компактним та мініатюрним, його вищену чутливість до певних газів. товщина не перевищує 0,4см, що дозволяє розтаВирішення поставленої задачі забезпечується шовувати його у важкодоступних місцях. Пристрій тим, що в чутливому елементі газоаналізатора, є простим і дешевим у виготовленні. який містить ізолюючу підкладинку, з однієї стороНа кресленні зображена схема чутливого елени якої розташований легований напівпровідникомента газоаналізатора. Чутливий елемент газоавий чутливий шар, а на протилежній - нагріваючий налізатора містить підкладинку 1, з однієї сторони елемент, а також електроди, згідно винаходу, ізоякої розташований чутливий шар 2, який містить люючою підкладинкою є шар високоомного крисчутливі області 3, 4, 5, на протилежній стороні розталічного твердого розчину ZnSxSe1-x, де ташований нагріваючий елемент 6. Чутливі облас0 х 1,або Zn1-yMgySe, де 0 у 0,5, чутливим шаром ті 3, 4, 5 мають електроди 3а, 3b, 4а, 4b, 5а, 5b є окислений шар матеріалу підкладинки, який місвідповідно, а нагріваючий елемент - електроди 6а, тить не менше однієї чутливої до певного газу ві6b. докремленої області, що легована щонайменше Підкладинкою 1 є шар із селеніду цинка одним відповідним металом, а нагріваючий еле10 10мм і товщиною 3мм. Для отримання нагрімент є матеріалом цієї ж підкладинки, легований ваючого елементу (товщина шару ~1мм) на повердомішкою, що зменшує питомий електричний опір хню підкладинки з однієї сторони наносять матеріматеріалу підкладинки. ал, що зменшує електричний опір (наприклад Легуючими металами для чутливого шару моіндій, або галій, або алюміній, або карбон), і при жуть бути: індій, алюміній, галій, станум, сурма, температурі 350°С проводять відпал протягом ферум, мідь, а легуючими домішками для отрипівгодини, що призводить до появи шару нагрівамання нагріваючого елементу - індій, або галій, ючого елемента 6 з високою провідністю (