Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

1. Чутливий елемент газоаналізатора, який містить ізолюючу підкладинку, з однієї сторони якої розташований напівпровідниковий чутливий шар, а на протилежній стороні нагріваючий елемент, і електроди, який відрізняється тим, що ізолюючою підкладинкою є шар високоомного кристалічного твердого розчину ZnSxSe1-x, де 0<х<1, або Zn1-yMgySe, де 0<у<0,5, чутливим шаром є окислений шар матеріалу підкладинки, який містить не менше однієї чутливої до певного газу відокремленої області, що легована щонайменше одним відповідним металом, а нагріваючий елемент є шаром матеріалу цієї ж підкладинки, легований домішкою, яка зменшує питомий електричний опір матеріалу підкладинки.

2. Чутливий елемент газоаналізатора за п. 1, який відрізняється тим, що чутливий шар легований металами індієм, алюмінієм, галієм, оловом, сурмою, залізом, міддю.

3. Чутливий елемент газоаналізатора за п. 1, який відрізняється тим, що легуючою домішкою, яка зменшує електричний опір шару підкладинки, є індій, або галій, або алюміній, або карбон.

Текст

1. Чутливий елемент газоаналізатора, який містить ізолюючу підкладинку, з однієї сторони якої розташований напівпровідниковий чутливий шар, а на протилежній стороні нагріваючий елемент, і електроди, який відрізняється тим, що ізолюючою підкладинкою є шар високоомного кри 3 76898 4 го відшарування чутливого шару від підкладинки. ного чутливого шару, його високий питомий електКрім того, механічний контакт нагріваючого ричний опір дозволяє електрично ізолювати легоелемента з підкладинкою обумовлює додатковий вані чутливі області і використовувати їх незалежтермічний опір при передачі тепла від нагріваючоно. го елемента до чутливого шару, що потребує підФормування однієї і більше легованих чутливищення температури нагріваючого елемента і вих областей, які мають підвищену чутливість до цим зменшує робочий ресурс чутливого елемента певного газу, дозволяє визначати присутність одгазоаналізатора. нієї і більше газових компонент одним чутливим Відомі аналоги призначені для визначення елементом за один цикл вимірів, а при наявності концентрації однієї газової компоненти, в той час калібровочних залежностей для кожної легованої як реальні газові середовища є сумішшю кількох чутливої області вимірювати і концентрацію газогазів. Визначення концентрації компонентів газових компонентів, що і розширює функціональні вого середовища є актуальною задачею, яка не можливості чутливого елемента газоаналізатора. вирішується за допомогою відомих аналогів при Легування високоомних кристалічних твердих використанні одного чутливого елемента, а викорозчинів ZnSxSe1-x, де 0 х 1,або Zn1-yMgySe, де ристання кількох елементів суттєво збільшує ви0 у 0,5, домішками які зменшують питомий електтрати на проведення вимірів. ричний опір легованої області, дає можливість Прототипом обраний останній із аналогів. формувати на цій підкладинці шар нагріваючого Задачею винаходу є підвищення надійності та елемента. Високий питомий опір самої підкладинзбільшення строку служби чутливого елементу, за ки ( кімн~1012Ом*см, роб~106Ом*см) дозволяє гарахунок підвищення адгезії чутливого елемента до льванічно ізолювати чутливий шар від електричнопідкладинки, а також розширення функціональних го струму нагрівача. можливостей формуванням не менше однієї чутКрім того, на відміну від аналогів, запропоноливої області на одній підкладинці, що мають підваний пристрій є компактним та мініатюрним, його вищену чутливість до певних газів. товщина не перевищує 0,4см, що дозволяє розтаВирішення поставленої задачі забезпечується шовувати його у важкодоступних місцях. Пристрій тим, що в чутливому елементі газоаналізатора, є простим і дешевим у виготовленні. який містить ізолюючу підкладинку, з однієї стороНа кресленні зображена схема чутливого елени якої розташований легований напівпровідникомента газоаналізатора. Чутливий елемент газоавий чутливий шар, а на протилежній - нагріваючий налізатора містить підкладинку 1, з однієї сторони елемент, а також електроди, згідно винаходу, ізоякої розташований чутливий шар 2, який містить люючою підкладинкою є шар високоомного крисчутливі області 3, 4, 5, на протилежній стороні розталічного твердого розчину ZnSxSe1-x, де ташований нагріваючий елемент 6. Чутливі облас0 х 1,або Zn1-yMgySe, де 0 у 0,5, чутливим шаром ті 3, 4, 5 мають електроди 3а, 3b, 4а, 4b, 5а, 5b є окислений шар матеріалу підкладинки, який місвідповідно, а нагріваючий елемент - електроди 6а, тить не менше однієї чутливої до певного газу ві6b. докремленої області, що легована щонайменше Підкладинкою 1 є шар із селеніду цинка одним відповідним металом, а нагріваючий еле10 10мм і товщиною 3мм. Для отримання нагрімент є матеріалом цієї ж підкладинки, легований ваючого елементу (товщина шару ~1мм) на повердомішкою, що зменшує питомий електричний опір хню підкладинки з однієї сторони наносять матеріматеріалу підкладинки. ал, що зменшує електричний опір (наприклад Легуючими металами для чутливого шару моіндій, або галій, або алюміній, або карбон), і при жуть бути: індій, алюміній, галій, станум, сурма, температурі 350°С проводять відпал протягом ферум, мідь, а легуючими домішками для отрипівгодини, що призводить до появи шару нагрівамання нагріваючого елементу - індій, або галій, ючого елемента 6 з високою провідністю (

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Detecting element of a gas analyzer

Автори англійською

Zahoruiko Yurii Anatoliiovych, Kovalenko Nazar Olehovych, Fedorenko Olha Oleksandrivna

Назва патенту російською

Чувствительный элемент газоанализатора

Автори російською

Загоруйко Юрий Анатольевич, Коваленко Назар Олегович, Федоренко Ольга Александровна

МПК / Мітки

МПК: G01N 27/02

Мітки: газоаналізатора, елемент, чутливий

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/3-76898-chutlivijj-element-gazoanalizatora.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Чутливий елемент газоаналізатора</a>

Подібні патенти