Випарник

Изобретение может быть использовано при нанесении в вакууме многокомпонентных пленок на основе механической смеси типа A" B S С*...XА*. Цель изобретения - повышение качества покрытий. Для этого в крышке 2 емкости 1 выходное отверстие выпол нено из двух несквозньгх отверстий 3 и 4, соединенных под острым'углом в глухих торцах с помощью отверстия 5. Последнее закрыто заглушкой 6 со стороны испарительной емкости. Выпуск полностью синтезированных паров осуществляется при условии, когда температура крышки 2 будет равна температуре испарения заглушки 6 в выходном отверстии паров. Заглушка 6 испаряется полностью, т.е. не успевшие испариться частицы в отверстии 3 проходят зигзагообразный путь. Пары испаряющейся заглушки 6 участвуют в формировании покрытия, 1 ил. ел с , Ш. РПФ і t 132 11(5 2 токовводы к токошинам вакуумной усИзобретение относится к области тановки. нанесения покрытий в вакууме и может Откачивают вакуумный объем до рабыть использовано в устройствах для бочего разрежения, напыления покрытий в вакууме и при нанесении многокомпонентных пленок 5 сложного состава на основе механичесДжоулевый нагрев емкости для испаа 2 W кой смеси типа А* В С . . , X на подрения веществ осуществляют при проложках различной природы. пускании тока по корпусу цилиндра исЦель изобретения - повышение капарителя. При достижении температуры чества покрытия. 10 испарения наиболее тугоплавкой комНа чертеже представлена конструкпоненты вн>три испарительной емкости ция испарителя многокомпонентных ве1 создается давление полностью синтеществ. зированных паров механической смеси Испаритель состоит из емкости 1 испаряемых веществ, но истечение модля испарения и синтеза, верхний то- 15 лекулярного потока через выходное рец которой закрыт крышкой 2 с выходотверстие не происходит, так как темным отверстием для выхода паров. Выпература крышки 2 пока ниже, чем темходное отверстие состоит из двух непература стенок испарительной емкости сквозных отверстий 3 и 4, просверза счет того, что толщина ее больше ленных соответственно в сторону ис20 толщины стенок испарительной емкости. парительной емкости и в сторону Образовавшееся в испарительной емобъекта конденсации, соединенных под кости 1 паровое облако синтезированострым углом в глухих торцах с поного пара создает дополнительный промощью отверстия 5. Отверстие 5 закрыгрев заслонки и крышки. то заглушкой 6 с торца сверления, 25 то есть со стороны испарительной емАвтоматический выпуск полностью кости , Джоулевый нагрев испарителя синтезированных паров из объема исосуществляется с помощью токоподвбпарительной емкости осуществляется дов 7 при пропускании тока по корпусу при условии, когда температура нагреемкости» 30 ва крышки 2 будет равна температуре испарения заслонки в выходном отверсПерекрытие выпускного отверстия тии паров. Заслонка в выходном отверпаров с целью надежной герметизации стии испаряется полностью, так как испарительной емкости и работа испане успевшие испариться частицы в отрителя осуществляются в такой посз5 верстии 3 проходят зигзагообразный ледовательности операций. путь: отверстие 3 - отверстие 5 - отверстие 4. В испарительную емкость 1 загруТемпература испарения з аслонки жают механическую смесь компонентов устанавливается в зависимости от веА*В^С ..,Хм(гранулированный порошок или сгружка) в соответствующих соот- 40 личины степени разрежения в рабочей ношениях до 1/4 его объема. вакуумной камере. Пары испаряющейся Б отверстие 3 засыпают тонкодисзаслонки участвуют в формировании персный порошок наиболее тугоплавкой покрытия, компоненты механической смеси и і лк П р и м е р . При испарении механиспрессовывают его металлическим ческой смеси компонент А В 2 С 3 Д Е F стержнем. (Тонкодисперсный порошок (CuZnAlSbSNi), отличающихся темперахорошо течет, заполняет форму и престурой испарения (Си = 1537 К, Zn = суется. Для создания монолитной зас= 6J8K, А1 = 1421К, Sb = 678К, S = лонки из тонкодисперсного порошка '= 1080К, Ni * 1402К, температутребуется значительно меньшая масса, 5 О ра испарения соответствует давлению чем, например, гранулированного попаров 1,33 П а ) , в качестве пробки рошка или стружки). Масса заслонки применяется Си, которая наиболее тувычитается из массы испаряемой наигоплавкая. При полной массе испаряеболее тугоплавкой компоненты и соссс мой смеси 1 г масса отдельных компотавляет 0,2-0,6 мг. нентов составляет, г: Си = 0,152, Устанавливают испаритель в подколZn - 0,2748, А1 = 0,0646, Sb =0,2914, пачную систему вакуумной установки S = 0,0767, Ni = 0,1405. Масса засна расстоянии 8-20 см от поверхности лонки Си равна 0,2-0,6 мг. Из испаобъектов конденсации и подсоединяют '1321115 4 ряемой массы Си - 0,152 і надо вы** Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я честь массу заслонки, т.е. масса в Испаритель многокомпонентных матеиспарительной емкости будет составриалов по авт, с в . № 1118713, о т лять 0,146-0,150 г. Для полного синл и ч а ю щ и й с я тем, что, с теза, испарения заслонки и выпуска ^ целью повышения качества покрытия, паров испаритель нагревают до 1627выходной канал в крышке испарителя 1657 К (т.е. на 420-450 К выше темвыполнен в виде двух параллельных пературы испарения Си = 1207 К) при отверстий, соединенных между собой разрежении в камере 1,33 10~3 Па. третьим, причем первое отверстие выПри разрежении 1,33-10"5 Па испари- 10 полнено со стороны выхода пара из тель нагревают до температуры 1480— испарителя несквозным,а второе выпол1510 К, а при разрежении 1,33х нено сквозным, при этом заслонка *10~ Па - до температуры 1317 установлена в месте сопряжения перво1343 К. го и третьего отверстий. Редактор Т.Лошкарева Составитель Е.Гаврилова Техред А.Кравчук Корректор С.Шекмар Заказ 716/ДСП Тираж 703 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская н а б , , д . 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4