Пристрій для вирощування профільованих кристалів з внутрішньою порожниною

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Устройство для выращивания профилиро­ванных кристаллов с внутренней полостью, вклю­чающее тигель с размещенным в нем пучком капилляров, и расположенный на его верхнем тор­це формпобразователь в виде коаксиальных колец с капиллярным зазором между ними, отличающе­еся тем, что, с целью улучшения качества кристал­лов и повышения производительности процесса, формообразователь снабжен соосным перфориро­ванным кольцом, установленным с капиллярным зазором с его внешней стороны и имеющим воз­можность фиксированного поворота относительно оси формообразователя, а его кольца имеют сквоз­ные соосные отверстия.

Текст

Изобретение касается технологии полупроводниковых материалов, в част ности устройства для выращивания профилированных кристаллов с внутренней полостью, и позволяет улучшить качество кристаллов и повысить производительность труда. Устройство состоит из тигля с размещенным в нем пучком капилляров и расположенного на его верхнем торце формообразователя в виде коаксиальных колец с капиллярным зазором между ними. Формообразователь снабжен установленным с капиллярным зазором с его внешней стороны соосным перфорированным кольцом, имеющим возможность фиксированного поворота относительно оси формообразователя, а его кольца имеют сквозные соосные отверстия 5 ил. 1 табл. СО со о го І

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Device for growing profiled crystalswith internal hollow

Автори англійською

Andrieiev Yevhen Pavlovych, Lytvynov Leonid Arkadiovych, Pyschyk Valerian Volodymyrovych

Назва патенту російською

Устройство для выращивания профилированных кристаллов с внутренней полостью

Автори російською

Андреев Евгений Павлович, Литвинов Леонид Аркадиевич, Пищик Валерьян Владимирович

МПК / Мітки

МПК: C30B 15/34

Мітки: профільованих, порожниною, вирощування, кристалів, пристрій, внутрішньою

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/4-16728-pristrijj-dlya-viroshhuvannya-profilovanikh-kristaliv-z-vnutrishnoyu-porozhninoyu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Пристрій для вирощування профільованих кристалів з внутрішньою порожниною</a>

Подібні патенти