Спосіб визначення типу провідності германію

980Р363Ъ МГЖ 6 G01R 31/20 СПОСІБ ВИЗНАЧЕННЯ ТИПУ ПРОВІДНОСТІ ГЕРМАНІЮ Винахід належить до галузі фізики твердого тіла та напівпровідникової електроніки і може бути використаний для діагностики параметрів твердотільної плазми. Відомий спосіб визначення типу провідності германію за допомогою охолоджуваного термозонда [Див. А.С. СРСР №605309, G01R З І/20, 1958 р]. Недоліком даного способу є те, що він не забезпечує необхідної точності при визначенні типу провідності германію з провідністю близькою до власної. Це зв'язано з тим, що в області низьких температур домішкова провідність, яка обумовлює термоелектрорушійну силу, в такому матеріалі досить мала, що призводить до зниження точності способу. Крім того, в даному способі зразки необхідно охолоджувати за допомогою рідких газів, що у свою чергу створює незручності в роботі. Найбільш близьким за технічною суттю до запропонованого способу визначення типу провідності германію є принцип роботи пристрою для визначення типу провідності напівпровідників, що складається з під'єднання джерела живлення до вимірювального зразка за допомогою двох електродів, під'єднання до зразка металевих зондів і реєструючого проистрою [Див. А.С. СРСР №1085390, G01R 31/26, 1982 р]. Суттєвим недоліком способу роботи такого пристрою є труднощі у виготовленні тонких пластин зразків напівпровідника, а також складна техніка для створення змінного електричного поля високої напруженості, щоб забезпечити коливальний рух вільних носіїв заряду та іонів домішок. В основу даного винаходу поставлено завдання у відомому способі визначення типу провідності шляхом зміни технологічних операцій отримати новий технічний результат, ідо виявляється у можливості визначення типу провідності германію з провідністю близькою до власної, а також у спрощенні обладнання для реалізації способу, що заявляється. Поставлене завдання вирішується наступним чином. У відомому способі визначення типу провідності германію, що включає подання на зразок монокристала германію електроживлення та під'єднання до нього вим ірника провідності згідно з запропонованим винаходом зразок розміщують у магнітному полі і одночасно прикладають механічне навантаження, величину якого вибирають відповідно до розмірів зразка, при цьому зразок м о н о к р ис т а л а г е р ма н ію р о з м і щ ую т ь так, щоб в е к т о ри напруженостей електричного і магнітного полів проходили паралельно кристалографічній осі , де має місце міждолинний перерозподіл електронів при деформації. Принцип дії установки базується на ефекті гвинтової нестійкості, яка спостерігається у зразках германію, поміщених в достатньо сильні електричні і магнітні поля. На прикладеному кресленні зображена принципова електрична схема установки, що дозволяє реалізувати спосіб, що заявляється. Вона містить джерело живлення І, досліджуваний зразок 2, один із торцевих контактів якого є інжектуючим. Зразок розміщують між полюсами постійного магніту, лінії індукції якого направлені вздовж повздовжньої осі зразка. До досліджуваного зразка 2 вздовж цієї ж осі прикладено одновісний тиск. [Пристрій для здійснення одновісного тиску на кресленні не показаний]. Реєструючим пристроєм може бути осцилограф або частотомір. Запропонований спосіб визначення типу провідності реалізується наступним чином. Коли деформація відсутня у зразках германію з провідністю близькою до власної має місце деякий початковий амбіполярний знос гвинтових збурень, причому в n-Gc він направлений вздовж електричного поля, а в p-Ge - проти поля. При одновісному пружному стискуванні зразків германію вздовж кристалографічного напрямку , де має місце міждолинний перерозподіл електронів, додатковий анізотропний амбіполярний знос збурень може як компенсувати, так і підсилювати початковий амбіполярний знос (Див. В.М.Бондар, В.В.Владимиров, В.П.Доскоч, А.И.Щедрин Влияние одноосной деформации на частот у осциллистора в несобственной плазме германия // ФТП. - 1982. - Т. 16. - С.506-507]. Тому частота гвинтової нестійкості буде зменшуватись з тиском в p-Ge і зростати - в n-Ge. Таким чином, за зміною частоти генерації можна судити про тип провідності напівпровідникового зразка. Установка має високу чутливість і дозволяє реєструвати малі зміни частоти осциляцій. Підвищення точності вимірювань установки досягаєься за рахунок того, що відпадає необхідність у калібровці шкали для вимірювання абсолютного значення частоти. Спосіб визначення типу провідності германію до ре € стр. 7 X U 1 Ж, Автор Доскоч В.П.