Малогабаритний настільний станок для різання напівпровідникових та інших матеріалів

1. Малогабаритний настільний верстат струнного різання напівпровідникових та інших матеріалів, на основі станини, каретки з ріжучим інструментом, керуючими і контролюючими елементами, який відрізняється тим, що містить напрямні з підшипниковим ковзанням, виконані з можливістю зворотно-поступального руху. 2. Малогабаритний настільний верстат струнного різання за п. 1, який відрізняється тим, що ріжучий інструмент складається з каретки та напрямних, які фіксуються на вказаному корпусі. 3. Малогабаритний настільний верстат струнного різання за п. 1, який відрізняється тим, що поча U 2 (19) 1 3 станини, каретки з ріжучим інструментом, керуючими і контролюючими елементами, що містить направляючі з підшипниковим ковзанням, виконані з можливістю зворотно-поступального руху каретки з ріжучим інструментом, різальний інструмент складається з каретки із направляючими, що фіксується на вказаному корпусі, початок та закінчення процесу розрізання матеріалу регулюється та контролюється за допомогою механізму підйомуопускання стола. Регулювання стола по площині розрізання здійснюється трьома регуляторами по осі х, у в горизонтальній площині. Різальний інструмент складається з рамки із намотаним дротом, бічна сторона якої містить два фіксуючих отвори, а робочі пази з кроком, який обумовлює розмір заготовки, що розрізається, струни містять алмазне покриття, або поверхня матеріалу в зоні розрізання містить вільний абразив, а вказані струни не містять додаткового абразиву. Відповідність критерію "новизна" запропонованому пристрою забезпечує та обставина, що заявлена сукупність ознак не міститься ні в одному з об'єктів існуючого рівня техніки. У корисній моделі запропоновано нове рішення для верстатів струнного різання на основі станини, каретки з ріжучим інструментом, керуючими і контролюючими елементами, які містять механізм підйому-опускання стола з матеріалом, при цьому зворотно-поступальний рух каретки з ріжучим інструментом забезпечують направляючі з підшипниковим ковзанням, пристрою регулювання стола з матеріалом по площині різу, системою регулювання і контролю глибини розрізання матеріалу. Тому ознака - містить механізм підйому-опускання стола за допомогою якого початок та закінчення процесу розрізання матеріалу регулюється та контролюється з точністю ±0.01мм, пристрій регулювання стола по площині розрізу здійснюється за допомогою трьох регуляторів по осі X, У в горизонтальній площині, використання двох методів різання матеріалу вільним абразивом та струнами з алмазним покриттям - забезпечує заявленому пристрою необхідний "винахідницький рівень". Використання запропонованого пристрою не вимагає спеціальних технологій та матеріалів завдяки малим габаритам та живленню на 24 В, його реалізація можлива в науково - дослідних та учбових закладах. Суть корисної моделі представлено на рисунках. На фіг. 1 представлено схематичну конструкцію запропонованого малогабаритного настільного верстата струнного різання, на фіг.2 - блок приводу каретки з ріжучим інструментом, на фіг.3 - вузли кріплення направляючих руху каретки, на фіг.4 механізм підйому-опускання стола з матеріалом, що розрізається Запропонований малогабаритний верстат струнного різання (фіг. 1) складається з станини 1 із сплаву алюмінію, блока приводу 2 на основі електродвигуна 3 типу СЛ-329 24В, вузлів кріплення каретки 4, механізму підйому-опускання стола 5 з матеріалом 6, ріжучого інструмента 7 у вигляді рамки з намотаним дротом, системою регулювання і контролю глибини різання 8 з індикатором 9 54782 4 марки 14-10, мікроскопа 10 марки МБС-10, пристрою подачі охолоджувальної рідини 11. Блок привода ріжучого інструмента (фіг.2) складається з кривошипа 12, який суміщений з електродвигуном 3 та шатуном 13, з'єднаним з направляючими руху 14, каретки 15 з ріжучим інструментом 7, посадочних стержнів 16 на яких кріпиться рамка, противаги 17. Зворотно-поступальний рух каретки 15 з ріжучим інструментом 7 забезпечують направляючі 14 з підшипниковим ковзанням за допомогою електродвигуна 3, противага 17 для погашення вібрації в процесі руху. Вузли кріплення каретки (фіг.3) складається з восьми підшипників 18 марки 607К8, які є опорними, чотирьох підшипників 19 марки 607К.8, закріплених на пружинній сталі 20, для фіксації направляючих 14, каретки 15, з ріжучим інструментом 7, який розрізає матеріал 6 і забезпечує необхідну жорсткість, високу точність і плоско паралельність переміщення. Основою ріжучого інструмента є рамка 7, виконана з алюмінієвого сплаву і захищена захисним електроізоляційним, хімічно стійким покриттям. Завдяки двом точним отворам встановлюється на посадочних стержнях 16, каретки 15 паралельно яким на поверхнях А та В розташовано пази для встановлення розмірних планок 21, які виготовляються з титанових сплавів. На робочій стороні цих планок містяться пази з кроком, який обумовлює розмір заготовок, що нарізуються. На бічних поверхнях рамки 7 також розташовані пази для встановлення електроконтактних планок 22 з латуні на яких є різьбові отвори для кріплення вольфрамового дроту, який намотується на рамку 7, укладається в пази розмірних планок 21, кінці яких закріплюються за допомогою гвинтів електроконтактних планок 22. При використанні ріжучого інструмента з алмазним покриттям, на поверхню вольфрамового дроту методом електролізу наноситься шар із суміші алмазного порошку, а при обробці вільним абразивом в зону розрізу подають абразивну суспензію. Регулювання паралельності руху струн ріжучого інструмента, напрямок руху каретки 15 здійснюється за допомогою шкали окуляра мікроскопа МБС-10 (фіг. 1) 10, при ручному переміщені за допомогою гайок 23 в межах пружності втулок (фіг.2) 24. Механізм підйому-опускання стола з матеріалом (фіг.4) складається з стола 25 і чашки 26, для збирання і зливу охолоджувальної рідини, пристрою регулювання 27 стола з матеріалом по площині розрізання, кронштейна 28, опорної стійки 29, направляючих 30, ричага 31, противаги 32, системи регулювання глибини різання 33 і контролю глибини різу індикатором ІЧ-10 (фіг. 1) 9, вісім підшипників 34 марки 6252. Плавний хід направляючих 30 забезпечується завдяки підшипникам 34, силу притискання матеріалу (фіг.3) 6, який розрізається, до ріжучого інструмента 7 здійснюється місцем знаходження противаги 32 на ричагу 31, регулювання стола 25 по площині розрізання матеріалу (фіг.3) 6, виконується регуляторами 35 по осі X та У. 5 Запропонований малогабаритний настільний верстат струнного різання працює наступним чином. Підкладка 37 із матеріалом 6, який приклеєний до неї за допомогою суміші на основі каніфолі та воску, кріпиться до стола 25, який виставляють регуляторами 35 по площині розрізання, каретка15 з ріжучим інструментом 7 встановлюється відповідним чином відносно матеріалу. Далі в зону різання подаємо охолоджувальну рідину. Запускаємо механізм руху каретки 15 з рамкою 7. Визначивши силу притискання матеріалу 6 до ріжучого інструмента, подаємо її в зону розрізання. Індикатором 9 контролюємо глибину різання, попередньо зафіксувавши глибину різу пристроєм 33. Проведені випробовування показали, що застосувавши два метода обробки матеріалу ріжучим інструментом з нанесеним алмазним абрази 54782 6 вом, точність різу складає ±0.02мм при порушенні глибини поверхневого шару 10-25 мкн, а обробка матеріалу ріжучим інструментом з вільним абразивом ±0.01мм при порушенні глибини поверхневого шару 5-15 мкн. Станок зручний в експлуатації, економний по споживанню електроенергії (60 Вт), не потребує великих матеріальних затрат. Джерела інформації: 1. Бочкин О.И., Брук В.А., НикифороваДенисова С.Н. Механическая обработка полупроводниковых материалов. - Москва: Высшая школа, 1983. - 88 с. 2. Запаров С.Ф., Сатыго А.В. О влиянии различних способов резки ВіТе на свойства термоелектрических модулей охлаждения // Термоелектричество. - №4. - 2002. - 57 с. 7 Комп’ютерна верстка В. Мацело 54782 8 Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601