Спосіб синтезу багатокомпонентних матеріалів

Реферат: UA 72771 U UA 72771 U 5 10 15 20 25 30 Спосіб належить до технології одержання в вакуумі однорідних квантово-розмірних багатокомпонентних матеріалів і може бути використаний в мікроелектронній промисловості. Відомий спосіб одержання в вакуумі багатокомпонентних структур із механічної суміші матеріалів, які різняться тиском парціальної пари при прихованій температурі їх випарування [Фреик Д.М., Августимов В.Л., Грушин А.И., Солоничный Я.В. "Получение пленок соединений 4 6 А В в квазизамкнутом объеме": Журнал "Физика и химия обработки материалов", 1978, № 3. С. 104]. Недоліком відомого способу є складність конструкції обладнання для управління процесом трьох дискретних температурно-градієнтних зон квазізамкнутого об'єму для контролю параметрів процесу синтезу багатокомпонентних матеріалів - густини, складу і температури їх парів, невизначеність моменту початку і кінця синтезу, практично неможливо попередньо математично змоделювати в реакторі склад парогазової суміші парціальних парів. В основу способу даної корисної моделі поставлено задачу в одному циклі в об'ємі реактора реалізувати процес повного випарування і синтезу наперед математично змодельованої суміші x y z m багатокомпонентних матеріалів A B C …X з врахуванням всіх існуючих факторів молекулярного складу парціальних парів окремих елементів, які утворюються при дисоціації. Поставлена задача вирішується тим, що в способі синтезу багатокомпонентних матеріалів, який включає реактор з вихідним отвором И-подібної форми, перекритий заслінкою, остання виконана в вигляді корка із матеріалу найбільш тугоплавкої компоненти механічної суміші x y z m A B C … X , встановленого в вихідному отворі. Спосіб дозволяє одержувати однорідні квантово-розмірні багатокомпонентні матеріали за x y z m рахунок "самоавтоматизації" процесу випуску синтезованої пари механічної суміші A B C … X , в склад якої входять всі компоненти наперед математично змодельованого вихідного матеріалу, так як вихідний отвір И-подібної форми відкривається для випуску синтезованої пари x y z m тільки при розплавленні найбільш тугоплавкої компоненти механічної суміші A B C … Х . На фіг. показано загальний вигляд реактора для синтезу багатокомпонентних матеріалів Х У z m механічної суміші А В С … X . Реактор 1 з високоомного тугоплавкого матеріалу закривається кришкою 2 із вихідним отвором И-подібної форми 3. Для розігріву реактора джоулевим теплом за рахунок пропускання струму по корпусі реактора використовуються струмопідводи 4. ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 35 Спосіб синтезу багатокомпонентних матеріалів, що включає дискретне випарування компонент і синтез їх парціальних парів в реакторі, який відрізняється тим, що випарування багатокомпонентної механічної суміші матеріалів і синтез їх парогазової суміші парціальної пари реалізується в реакторі при температурі випарування найбільш тугоплавкої компоненти. 1 UA 72771 U Комп’ютерна верстка А. Крижанівський Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 2