Герметичне перекриття вакуумних об’ємів

Реферат: Герметичне перекриття вакуумних об'ємів містить шлюзову камеру з боковими отворами з встановленими перекриваючими вакуумними затворами з вакуумними прокладками, транспортер, який встановлений в шлюзовій камері та елементи кріплення зразків, які встановлені на транспортері. Додатково перекриття містить елементи кріплення змінних масок, які встановлені на транспортері під елементом кріплення зразків відповідно. UA 91488 U (54) ГЕРМЕТИЧНЕ ПЕРЕКРИТТЯ ВАКУУМНИХ ОБ'ЄМІВ UA 91488 U UA 91488 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 Корисна модель належить до приладобудування, як наприклад герметичного перекривання вакуумних об'ємів у вакуумній установці переважно високого і середнього вакууму. Відоме герметичне перекриття вакуумних об'ємів, що містить шлюзову камеру з боковими отворами з встановленими перекриваючими вакуумними затворами з вакуумними прокладками, транспортер, який встановлений в шлюзовій камері, елементи кріплення зразків, які встановлені на транспортері [Патент № 52740 "Герметизуючий шлюз", Бюл № 17, 2010 р.]. Однак таке перекриття не дозволяє збереження рівня вакууму під час транспортування зразків. В основу корисної моделі поставлено задачу створити герметичне перекриття вакуумних об'ємів, яке дозволило б збереження рівня вакууму під час транспортування зразків і змінних масок. Поставлена задача вирішується тим, що герметичне перекриття вакуумних об'ємів, що містить шлюзову камеру з боковими отворами з встановленими перекриваючими вакуумними затворами з вакуумними прокладками, транспортер, який встановлений в шлюзовій камері, елементи кріплення зразків, які встановлені на транспортері, згідно з корисною моделлю, додатково містить елементи кріплення змінних масок, які встановлені на транспортері під елементом кріплення зразків відповідно. Встановлення елементів кріплення змінних масок дозволяє збереження рівня вакууму шляхом одночасного і разового введення елементів кріплення зразків і елементів кріплення змінних масок для подальшого процесу нанесення плівок без порушення режиму роботи установки, температури і тиску вакуумного середовища. На фіг. 1 представлене герметичне перекриття вакуумних об'ємів, на фіг. 2 - вид збоку, де: 1 - шлюзова камера, 2 - транспортер, 3 - елементи кріплення зразків, 4 - елементи кріплення змінних масок, 5 - перекриваючі вакуумні затвори; 6 - вакуумні прокладки. Герметичне перекриття вакуумних об'ємів містить шлюзову камеру 1 з двома боковими отворами, з встановленими перекриваючими вакуумними затворами 5 з вакуумними прокладками 6. Всередині шлюзової камери встановлений транспортер 2, що являє собою металічний стержень, на якому встановлені елементи кріплення зразків 3 і елементи кріплення змінних масок 4 під елементом кріплення зразків 3 відповідно. На елементи кріплення зразків 3 і змінних масок 4 закріплюють зразки і змінні маски відповідно, після чого герметичне перекриття вакуумних об'ємів кріпиться до вакуумної установки і відкриваються перекриваючі вакуумні затвори 5. Вакуум і температура у перекритті і установці стають однаковими, утворюючи спільне середовище для подальшого процесу створення тонкоплівкової структури. Рухомим транспортером 2 вносяться зразки і змінні маски у вакуумну камеру, після чого відбувається подальший процес формування тонких плівок. Після процесу термовакуумного напилення готові тонкоплівкові структури за допомогою транспортера 2 переміщують у шлюзову камеру 1 і перекриваються вакуумні затвори 5 і герметичне перекриття вакуумних об'ємів від'єднують від вакуумної установки. ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ Герметичне перекриття вакуумних об'ємів, що містить шлюзову камеру з боковими отворами з встановленими перекриваючими вакуумними затворами з вакуумними прокладками, транспортер, який встановлений в шлюзовій камері, елементи кріплення зразків, які встановлені на транспортері, яке відрізняється тим, що додатково містить елементи кріплення змінних масок, які встановлені на транспортері під елементом кріплення зразків відповідно. 1 UA 91488 U Комп’ютерна верстка Л. Ціхановська Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 2