Спосіб термовакуумної обробки кольорових кінескопів

1 Спосіб термовакуумної обробки кольорових кінескопів, що включає проведення відкачки і зне гажування оболонки кінескопа, високочастотне знегажування електронно-оптичної системи, активування катода і розпилення газопоглинача, який відрізняється тим, що високочастотне знегажування електронно-оптичної системи проводять після герметизації оболонки кінескопа одночасно із розпиленням газопоглинача 2 Спосіб за п 1, який відрізняється тим, що розпилення барію з газопоглинача проводять після зменшення газовиділень з нагрітих деталей електронно-оптичної системи Корисна модель відноситься до виробництва кольорових кінескопів, а саме до їх термовакуумної обробки і може бути використаний при виробництві кінескопів ВІДОМІ способи термовакуумної обробки кольорових кінескопів, які полягають в тому, що проводять знегажування оболонки кінескопа, високочастотне знегажування деталей електроннооптичної системи (БОС), знегажування катодів, герметизацію оболонки [Производство цветных кинескопов Под общ ред В И Барановского Москва, Энергия 1978] Вказані операції в практиці виробництва кінескопів проводять одночасно з відкачкою оболонки кінескопа дифузійним насосом на спаді температурної кривої знегажування оболонки і внутрішніх покрить кінескопа При зменшенні температури склооболонки кінескопа до 200-180°С проводять відпай кінескопа В цей час тиск в оболонці кінескопа знижується до (56) 10 2 Па нів, власне метану - продуктів розкладу масел дифузійних насосів, які проникають через штенгель в оболонку кінескопа при його відкачці Інтенсивність процесу міграції вуглеводнів в оболонку що відкачується збільшується на кінцевих операціях відкачки кінескопу, оскільки тиск в оболонці практично зрівноважується з тиском газів у дифузійному насосі Виходячи з цього, а також з метою більш повного використання сорбційних властивостей внутрішньої поверхні оболонки відпай кінескопів бажано проводити при температурі оболонки більшій від 200°С Низька термостійкість оболонки кінескопа та необхідність проведення операцій по знегажуванню ЕОС тривалістю більше 10 хв , активування катодів та відпаю на спаді температурної кривої не дозволяють зменшити час відкачки кінескопу на лінії вакуумної обробки менше 120 хв , а тим самим зменшити КІЛЬКІСТЬ вуглеводнів, які попадають у кінескоп З другої сторони, необхідність знегажування деталей ЕОС (як правило, високочастотним нагрівом) приводить до значного ускладнення конструкції позицій вщкачного обладнання Найбільш близьким до корисної моделі за технічною суттю є спосіб термовакуумної обробки електровакуумних приладів з частковим розпиленням газопоглинача в процесі відкачки кінескопів, в якому знегажування арматури ЕОС проводять одночасно з герметизацією приладу Для активного використання процесів сорбції Після відпаю на окремому посту проводять розпилення газопоглинача в кінескопі Відомо, що на емісійні характеристики катодів, а значить, на якісну і довговічну роботу кінескопу, крім загального тиску газів, має великий вплив парціальний тиск залишкових газів в оболонці запаяного кінескопа Однією З причин зниження або повної втрати емісійної здатності оксидного покриття катодів є наявність в атмосфері залишкових газів вуглевод CD О О) 7096 внутрішніми поверхнями оболонки, що охолоджується, знегажування ЕОС і герметизацію проводять при температурі оболонки приладу 250-300°С [ас СРСР №277118] Для уникнення окислення деталей ЕОС перед високочастотним нагрівом розпилюють певну частину барію з контейнера газопоглинача Однак, втрата сорбційної ємності барієвої плівки за рахунок утворення щільної структури осадженого барію при його розпиленні з контейнера газопоглинача на гарячі поверхні склооболонки та використанні частини сорбційної ємності на поглинання газів відкачної системи, а також точне дозування частки барію, яка повинна виділитися з контейнера газопоглинача на рухомій позиції лінії термовакуумної обробки кінескопів є значними недоліками відомого способу, які погіршують якість кінескопів і ускладнюють процес їх виготовлення В основу корисної моделі поставлено задачу покращення якості кінескопів Поставлена мета вирішується тим, що у відомому способі термовакуумної обробки електровакуумних приладів високочастотне знегажування електронно-оптичної системи проводять після герметизації оболонки кінескопа, одночасно з розпиленням газопоглинача, при цьому розпилення барію з газопоглинача проводять після зменшення газовиділень з нагрітих деталей електронно-оптичної системи Суть корисної моделі пояснюється кресленням Блок-схема установки для реалізації запропонованого способу зображена на фіг 1 Установка складається із вимикача з контактами 1, 2 програмного пристрою 3, генератора для знегажування ЕОС 4 з індуктором 5, генератора для розпилення газопоглинача 6 з індуктором 7 8 - кінескоп, що обробляється При замиканні контактів 1, 2 програмний пристрій 3 включає високочастотний генератор 4 з індуктором 5 Деталі ЕОС нагріваються до температур 550-600°С Через певний проміжок часу, який визначається експериментальним шляхом, програмний пристрій включає генератор розпилення газопоглинача 6, індуктор 7 нагріває контейнер газопоглинача до температури розпилення барію Закінчення операцій розпилення газопоглинача і знегажування ЕОС відбувається після виключення генераторів 4, 6 програмним пристроєм З Час початку розпилення газопоглинача при знегажуванні ЕОС визначається на експериментальних кінескопах, для чого при збиранні пробного кінескопу в ньому монтувався датчик тиску ПМИ-2 і в процесі знегажування ЕОС вимірювали тиск в оболонці кінескопу За усередненими результатами вимірювання тиску визначався початок розпилення газопоглинача і час закінчення операції знегажування ЕОС Типова крива зміни тиску в оболонці кінескопа 61ЛК5Ц як функція часу при знегажуванні ЕОС і розпиленні газопоглинача зображена на фіг 2 Ділянка АВ кривої відповідає інтенсивному газовиділенню з деталей ЕОС при їх нагріві 3 часом інтенсивність газовиділень зменшується - ділянка ВС кривої газовиділення В точці С кривої ABC програмний пристрій включає генератор розпилення газопоглинача і починається інтенсивне випаровування барію з контейнера газопоглинача, яке супроводжується різким зниженням тиску в оболонці кінескопа за рахунок сорбції барієм залишкових газів - ділянка CD кривої ABCD Після виключення генератора знегажування ЕОС відбувається сорбція газів деталями ЕОС, які охолоджуються - ділянка DE кривої ABCDE Подальше зниження тиску залишкових газів в кінескопах до робочого значення (менше 6,6 10 4 Па) відбувається на операціях високовольтного пропалуі тренування Початок розпилення барію з контейнера газопоглинача визначається експериментальним шляхом і він співпадає в часі з початком зменшення газовиділень з деталей ЕОС Як показує аналіз кривих зміни тиску в оболонці кінескопа при знегажуванні ЕОС в процесі термовакуумної обробки сумарний об'єм газів, що виділяються з деталей ЕОС при високочастотному нагріві становить від 0,11 до 6,6ЛхПа залежно від матеріалу, з якого виготовлені деталі, якості попередньої очистки та умов зберігання деталей ЕОС до збирання кінескопа [Комплексная автоматизация сборочного производства цветных электронно-лучевых трубок Под общей ред С И Бродского Москва "Радио и связь" 1984г] В той же час сорбційна ємність розпиленої в оболонці кінескопа барієвої плівки газопоглиначів КРАБ-26МАА, КРАБ-15А, які використовуються у виробництві крупногабаритних кінескопів становить приблизно ЮООЛхПа по оксиду вуглецю Значне перевищення величини сорбційної ємності розпиленої барієвої плівки над об'ємом газів, що виділяються з деталей ЕОС при знегажуванні, створює технічні передумови для проведення знегажування ЕОС після герметизації оболонки без суттєвого зниження ресурсу розпиленого з газопоглинача барію Випробування ефективності запропонованого способу проводилося на кінескопах 61ЛК5Ц За результатами заміру тиску в готових кінескопах встановлено, що в приладах, які виготовлені запропонованим способом, середнє значення тиску залишкових газів становить 1,1 10 4 Па, а в приладах поточного виробництва 5,4 10 4 Па Замір парціальних тисків газів в кінескопах після розпилення газопоглинача проведено масспектрометром МХ-7304А Середнє значення парціальних тисків вуглеводнів C n H m в пробних кінескопах становить 9,2 10 4 Па, а в поточних 1,7 10 3 Па Використання запропонованого способу дозволить покращити якість кінескопів за рахунок проведення активування катодів при нижчому тиску, скорочення часу перебування кінескопів під відкачкою і зменшення КІЛЬКОСТІ вуглеводнів, які мігрують в об'єм кінескопу, та покращення вакууму в кінескопах завдяки сорбції залишкових газів оболонкою кінескопа після вщпаю V -»!Ф 960Z 7096 і-час розпилення гадопоглишца к' Зиегажу5пиня ЕОС ю' 3 Фіг. 2 Комп'ютерна верстка Г Паяльніков Підписне Тираж 28 прим Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул Урицького, 45, м Київ, МСП, 03680, Україна ДП "Український інститут промислової власності", вул Глазунова, 1, м Київ - 4 2 , 01601