Патенти з міткою «автоемісійний»

Номер патенту: 62951

Опубліковано: 26.09.2011

Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Ховерко Юрій Миколайович, Когут Ігор Тимофійович, Голота Віктор Іванович

МПК: H01L 27/00

Мітки: елемент, автоемісійний, чутливий, акселерометра

Формула / Реферат:

Автоемісійний чутливий елемент акселерометра, який складається із напівпровідникової підкладки, що являє собою перший електрод, на яку послідовно нанесені діелектрична плівка з витравленою ділянкою, електропровідна плівка, що являє собою другий електрод, який відрізняється тим, що перший електрод, другий електрод, основою якого є структура "кремній-на-ізоляторі", виготовлені у формі загострених вістер, які розмішені один навпроти...