Патенти з міткою «діелектрику»

Номер патенту: 22539

Опубліковано: 25.04.2007

Автори: Ніконова Аліна Олександрівна, Кравчина Акім Віталійович, Гомольський Дмитро Михайлович, Кравчина Віталій Вікторович

МПК: H01L 21/70

Мітки: кремнію, діелектрику, формування, спосіб, структур

Формула / Реферат:

Спосіб формування структур кремнію на діелектрику, який включає окислення пластин кремнію, осадження плівок нітриду кремнію, проведення процесів фотолітографії, локальне травлення плівок нітриду, окислу кремнію та кремнію, локальне окислення кремнію, який відрізняється тим, що після окислення пластин кремнію осаджують плівки Si3N4 товщиною 0,1-2,0 мкм, проводять одночасно поверхнево-анізотропне травлення і селективне травлення кремнію в...