Ніконова Аліна Олександрівна
Спосіб формування структур кремнію на діелектрику
Номер патенту: 22539
Опубліковано: 25.04.2007
Автори: Кравчина Віталій Вікторович, Кравчина Акім Віталійович, Гомольський Дмитро Михайлович, Ніконова Аліна Олександрівна
МПК: H01L 21/70
Мітки: кремнію, формування, структур, спосіб, діелектрику
Формула / Реферат:
Спосіб формування структур кремнію на діелектрику, який включає окислення пластин кремнію, осадження плівок нітриду кремнію, проведення процесів фотолітографії, локальне травлення плівок нітриду, окислу кремнію та кремнію, локальне окислення кремнію, який відрізняється тим, що після окислення пластин кремнію осаджують плівки Si3N4 товщиною 0,1-2,0 мкм, проводять одночасно поверхнево-анізотропне травлення і селективне травлення кремнію в...
Інтегральний датчик
Номер патенту: 14563
Опубліковано: 15.05.2006
Автори: Літвіненко Марина Олександрівна, Ніконова Аліна Олександрівна, Швець Євген Якович, Небеснюк Оксана Юріївна, Ніконова Зоя Андріївна
МПК: G01R 27/26
Мітки: датчик, інтегральній
Формула / Реферат:
Інтегральний датчик, що включає прозорий корпус з точковими електродами, підключеними до джерела живлення, який відрізняється тим, що корпус виконаний у вигляді контактного скла без роговичної частини з чотирма точеними срібними електродами, розміщеними діаметрально-перпендикулярно і підключеними попарно до джерела живлення.