Патенти з міткою «електроепітаксії»

Номер патенту: 21855

Опубліковано: 10.04.2007

Автори: Шутов Станіслав Вікторович, Цибуленко Вадим Володимирович, Єрохін Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/208

Мітки: рідиннофазної, електроепітаксії, установка

Формула / Реферат:

Установка для рідиннофазної електроепітаксії, що містить кварцовий реактор, який встановлений в електричну піч для забезпечення контролю температури, два електроди, один з яких жорстко закріплений до верхньої пластини, джерела постійного струму, та касети, що має верхню пластину, яка одночасно є електричним контактом до розчинів-розплавів, середню ізолюючу пластину, яка є електричним ізолятором між верхньою та нижньої пластинами і має отвір...