Цибуленко Вадим Володимирович

Номер патенту: 115873

Опубліковано: 10.01.2018

Автори: Єрохін Сергій Юрійович, Шутов Станіслав Вікторович, Боскін Олег Осипович, Цибуленко Вадим Володимирович

МПК: H01L 21/208, C30B 19/00, H01L 21/20 ...

Мітки: змочування, спосіб, фазі, підкладки, епітаксії, рідинної, очищення, розчину-розплаву

Формула / Реферат:

Спосіб змочування підкладки та її очищення від розчину-розплаву при епітаксії з рідинної фази, що полягає у змочуванні підкладки розчином-розплавом, на який діє сила тяжіння, способом зміщення слайдера касети, який утримує підкладку, між комірками, що заповнені розчинами-розплавами, і очищенні підкладки від розчину-розплаву, який відрізняється тим, що при змочуванні на розчин-розплав додатково діють силою Ампера, яку викликають тим, що по...

Номер патенту: 93097

Опубліковано: 25.09.2014

Автори: Боскін Олег Осипович, Цибуленко Вадим Володимирович, Шутов Станіслав Вікторович, Євдокимов Олексій В'ячеславович

МПК: C30B 19/00

Мітки: спосіб, епітаксійних, шарів, рідинної, отримання, фазі

Формула / Реферат:

Спосіб отримання епітаксійних шарів з рідинної фази, що полягає у процесі гомогенізації, виходу на задану температуру, підведенні розчину-розплаву до поверхні робочої підкладки і їх контакті та зниженні температури на задану величину, який відрізняється тим, що контакт робочої підкладки з розчином-розплавом проводять сегментарно по поверхні робочої підкладки за допомогою пристрою сканування.

Номер патенту: 58298

Опубліковано: 11.04.2011

Автори: Шутов Станіслав Вікторович, Цибуленко Вадим Володимирович

МПК: H01L 21/208

Мітки: керування, твердого, складом, розчину, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб керування складом твердого розчину, що полягає у створенні двох різних насичених рідинних фаз, що контактують одна з одною, в ізотермічних умовах та їх змішуванні для росту шарів з пересиченого розчину-розплаву за допомогою електричного струму, який відрізняється тим, що керування процесом змішування здійснюють за допомогою змінного електричного струму.

Номер патенту: 41395

Опубліковано: 25.05.2009

Автори: Єрохін Сергій Юрійович, Шутов Станіслав Вікторович, Цибуленко Вадим Володимирович

МПК: H01L 21/208

Мітки: шарів, твердих, розчинів, спосіб, отримання

Формула / Реферат:

Спосіб отримання шарів твердих розчинів, що полягає у створенні двох різних насичених рідинних фаз в ізотермічних умовах та їх змішуванні для росту шарів з перенасиченого розчину-розплаву, який відрізняється тим, що створюють єдиний розчин-розплав з двох різних рідинних фаз, що контактують одна з одною, а змішування здійснюють поступово протягом всього процесу вирощування за допомогою постійного електричного струму.

Номер патенту: 21855

Опубліковано: 10.04.2007

Автори: Шутов Станіслав Вікторович, Цибуленко Вадим Володимирович, Єрохін Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/208

Мітки: електроепітаксії, рідиннофазної, установка

Формула / Реферат:

Установка для рідиннофазної електроепітаксії, що містить кварцовий реактор, який встановлений в електричну піч для забезпечення контролю температури, два електроди, один з яких жорстко закріплений до верхньої пластини, джерела постійного струму, та касети, що має верхню пластину, яка одночасно є електричним контактом до розчинів-розплавів, середню ізолюючу пластину, яка є електричним ізолятором між верхньою та нижньої пластинами і має отвір...

Номер патенту: 14276

Опубліковано: 15.05.2006

Автори: Єрохін Сергій Юрійович, Марончук Ігор Євгенович, Цибуленко Вадим Володимирович

МПК: H01L 21/208

Мітки: установка, рідкофазної, епітаксії

Формула / Реферат:

Установка для рідкофазної епітаксії, що містить касету в нагрівальному вузлі, яка виконана у вигляді розбірної конструкції, і має основу, прикріплену до основи пластину з ростовими комірками, що містить систему каналів і отворів, де ростові комірки мають змінні вкладиші для регулювання висоти ростових зазорів, де вкладиші виконані з пазами для розміщення фальшпідкладок, утримуючий підкладку слайдер, що має вікно над підкладкою і встановлений...

Номер патенту: 62234

Опубліковано: 15.12.2003

Автори: Цибуленко Вадим Володимирович, Курак Владислав Володимирович, Калашников Андрій Веніамінович, Журба Олександр Михайлович, Марончук Ігор Євгенович

МПК: H01L 21/208

Мітки: епітаксії, установка, рідкофазної

Формула / Реферат:

Установка для рідкофазної епітаксії, що містить касету в нагрівальному вузлі, яка має багато комірок, утримуючий підкладку слайдер, встановлений із можливістю переміщення крізь касету уздовж комірок, для підведення підкладки в комірки, а також контейнери для гомогенізації і термопару, яка відрізняється тим, що касета виконана у вигляді розбірної конструкції, яка складається з основи, у пазу якої встановлений із можливістю переміщення слайдер...