Патенти з міткою «рідиннофазної»

Номер патенту: 21855

Опубліковано: 10.04.2007

Автори: Цибуленко Вадим Володимирович, Шутов Станіслав Вікторович, Єрохін Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/208

Мітки: електроепітаксії, рідиннофазної, установка

Формула / Реферат:

Установка для рідиннофазної електроепітаксії, що містить кварцовий реактор, який встановлений в електричну піч для забезпечення контролю температури, два електроди, один з яких жорстко закріплений до верхньої пластини, джерела постійного струму, та касети, що має верхню пластину, яка одночасно є електричним контактом до розчинів-розплавів, середню ізолюючу пластину, яка є електричним ізолятором між верхньою та нижньої пластинами і має отвір...

Номер патенту: 47929

Опубліковано: 15.07.2002

Автори: Недвига Олександр Степанович, Вишневський Віктор Георгійович, Прокопов Анатолій Романович

МПК: C30B 19/00

Мітки: методом, епітаксії, рідиннофазної, плівок, феритових, спосіб, вирощування

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування монокристалічних феритових плівок методом рідиннофазної епітаксії, який включає підготовку шихти, гомогенізацію розчину-розплаву, нарощування на підкладку плівки, звільнення її від залишків розплаву, який відрізняється тим, що застосовується сушіння компонентів шихти в сушильній НВЧ-установці протягом 30-60 хв., а епітаксійний процес проводиться при торканні робочою поверхнею підкладки розчину-розплаву.