Патенти з міткою «ізоляторі”-структур»

Номер патенту: 32784

Опубліковано: 15.02.2001

Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Когут Ігор Тимофійович, Ховерко Юрій Миколайович

МПК: H01L 27/12

Мітки: спосіб, ізоляторі"-структур, кремній, виготовлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення "кремній на ізоляторі"-структур, згідно якого на вихідній кремнієвій пластині послідовно формують шар ізолюючого окису кремнію, шар полікремнію, допоміжні капсулююче та антивідбиваюче покриття, проводять лазерну рекристалізацію шару полікремнію, методом травлення знімають допоміжні покриття, який відрізняється тим, що після зняття допоміжних покрить проводять термічне окислення рекристалізованого полікремнію і...