Патенти з міткою «нанометрових»

Номер патенту: 67348

Опубліковано: 10.02.2012

Автори: Литвин Оксана Степанівна, Литвин Петро Мар'янович, Прокопенко Ігор Васильович

МПК: G01B 5/06, G01Q 80/00

Мітки: нанометрових, спосіб, атомно-силової, засобами, товщини, шарів, мікроскопі, визначення

Формула / Реферат:

Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблення, яке досягає границі розділу "шар-підкладка", який відрізняється тим, що в шарі утворюють серію заглиблень дряпанням зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд, одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше...