Прокопенко Ігор Васильович
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії
Номер патенту: 67348
Опубліковано: 10.02.2012
Автори: Литвин Оксана Степанівна, Литвин Петро Мар'янович, Прокопенко Ігор Васильович
МПК: G01Q 80/00, G01B 5/06
Мітки: визначення, товщини, мікроскопі, спосіб, атомно-силової, шарів, засобами, нанометрових
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблення, яке досягає границі розділу "шар-підкладка", який відрізняється тим, що в шарі утворюють серію заглиблень дряпанням зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд, одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше...
Реєструючий вузол цифрового рентгенографічного скануючого апарата
Номер патенту: 41217
Опубліковано: 12.05.2009
Автори: Маслов Володимир Петрович, Коломзаров Юрій Вікторович, Саворовський Федір Григорович, Прокопенко Ігор Васильович, Качур Наталія Володимирівна
Мітки: цифрового, вузол, реєструючий, рентгенографічного, скануючого, апарата
Формула / Реферат:
Реєструючий вузол цифрового рентгенографічного скануючого апарата, що включає систему сцинтиляторів та лінійку фоточутливих елементів, який відрізняється тим, що лінійка складається з фоточутливих елементів, фоточутливість яких відрізняється не більше ніж на ±3 %.