G01Q 80/00 — Застосування методів скануючого зонда інше, ніж для мікроскопії скануючого зонда (SPM)
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії
Номер патенту: 67348
Опубліковано: 10.02.2012
Автори: Прокопенко Ігор Васильович, Литвин Петро Мар'янович, Литвин Оксана Степанівна
МПК: G01Q 80/00, G01B 5/06
Мітки: спосіб, шарів, засобами, визначення, атомно-силової, товщини, нанометрових, мікроскопі
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблення, яке досягає границі розділу "шар-підкладка", який відрізняється тим, що в шарі утворюють серію заглиблень дряпанням зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд, одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше...