Патенти з міткою «атомно-силової»
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії
Номер патенту: 67348
Опубліковано: 10.02.2012
Автори: Прокопенко Ігор Васильович, Литвин Петро Мар'янович, Литвин Оксана Степанівна
МПК: G01Q 80/00, G01B 5/06
Мітки: спосіб, атомно-силової, товщини, нанометрових, мікроскопі, шарів, засобами, визначення
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблення, яке досягає границі розділу "шар-підкладка", який відрізняється тим, що в шарі утворюють серію заглиблень дряпанням зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд, одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше...
Пристрій для виготовлення еталонних структур на основі атомно-силової мікроскопії електростатичних сил
Номер патенту: 39552
Опубліковано: 25.02.2009
Автори: Ходаковський Микола Іванович, Золот Анатолій Іванович, Воронько Андрій Олександрович, Ларкін Сергій Юрійович
МПК: H01L 21/00
Мітки: мікроскопі, сіль, пристрій, структур, атомно-силової, основі, електростатичних, еталонних, виготовлення
Формула / Реферат:
Пристрій для виготовлення еталонних структур на основі атомно-силової мікроскопії електростатичних сил, що містить блок керування параметрами, вхід якого є входом пристрою, а вихід зв'язаний з входом блока прецизійного контролю форми верхівки вістря зонда, другий вихід блока керування параметрами зв'язаний з входом блока сканування вістряної структури, вихід блока сканування вістряної структури з'єднаний з входом блока прецизійного контролю...
Спосіб модифікації слюди, субстрату для атомно-силової мікроскопії
Номер патенту: 13571
Опубліковано: 17.04.2006
Автори: Клімов Олег Іванович, Руденко Станіслав Станіславович, Лиманська Людмила Олександрівна, Лиманський Олександр Петрович, Лиманська Ольга Юріївна, Волянський Юрій Леонідович, Драч Максим Іванович
МПК: C12Q 1/68, C12Q 1/04, B28D 1/00 ...
Мітки: модифікації, слюди, спосіб, атомно-силової, мікроскопі, субстрату
Формула / Реферат:
Спосіб модифікації слюди, субстрату для атомно-силової мікроскопії, що включає створення схеми одержання модифікованої слюди з регульованою поверхневою щільністю аміногруп за допомогою 3-амінопропілтриетоксисилану (АПТЕС) в газовій фазі, який відрізняється тим, що використовують трикратну дистиляцію АПТЕС (для амінослюди з підвищеною щільністю заряду) і неперегнаний АПТЕС (для амінослюди зі зниженою щільністю заряду) за наведеним протоколом...