Патенти з міткою «атомно-силової»
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів засобами атомно-силової мікроскопії
Номер патенту: 67348
Опубліковано: 10.02.2012
Автори: Литвин Оксана Степанівна, Прокопенко Ігор Васильович, Литвин Петро Мар'янович
МПК: G01B 5/06, G01Q 80/00
Мітки: шарів, нанометрових, атомно-силової, визначення, товщини, спосіб, засобами, мікроскопі
Формула / Реферат:
Спосіб визначення товщини нанометрових шарів, нанесених на підкладку, який включає утворення в шарі заглиблення, яке досягає границі розділу "шар-підкладка", який відрізняється тим, що в шарі утворюють серію заглиблень дряпанням зондом атомно-силового мікроскопа із зростаючою силою навантаження на зонд, одночасно вимірюють глибину подряпин і фіксують те значення глибини, яке залишається незмінним для останніх двох або більше...
Пристрій для виготовлення еталонних структур на основі атомно-силової мікроскопії електростатичних сил
Номер патенту: 39552
Опубліковано: 25.02.2009
Автори: Золот Анатолій Іванович, Ларкін Сергій Юрійович, Воронько Андрій Олександрович, Ходаковський Микола Іванович
МПК: H01L 21/00
Мітки: мікроскопі, основі, еталонних, пристрій, сіль, виготовлення, атомно-силової, структур, електростатичних
Формула / Реферат:
Пристрій для виготовлення еталонних структур на основі атомно-силової мікроскопії електростатичних сил, що містить блок керування параметрами, вхід якого є входом пристрою, а вихід зв'язаний з входом блока прецизійного контролю форми верхівки вістря зонда, другий вихід блока керування параметрами зв'язаний з входом блока сканування вістряної структури, вихід блока сканування вістряної структури з'єднаний з входом блока прецизійного контролю...
Спосіб модифікації слюди, субстрату для атомно-силової мікроскопії
Номер патенту: 13571
Опубліковано: 17.04.2006
Автори: Лиманська Людмила Олександрівна, Лиманський Олександр Петрович, Клімов Олег Іванович, Лиманська Ольга Юріївна, Драч Максим Іванович, Волянський Юрій Леонідович, Руденко Станіслав Станіславович
МПК: C12Q 1/04, B28D 1/00, C12Q 1/68 ...
Мітки: мікроскопі, модифікації, спосіб, субстрату, слюди, атомно-силової
Формула / Реферат:
Спосіб модифікації слюди, субстрату для атомно-силової мікроскопії, що включає створення схеми одержання модифікованої слюди з регульованою поверхневою щільністю аміногруп за допомогою 3-амінопропілтриетоксисилану (АПТЕС) в газовій фазі, який відрізняється тим, що використовують трикратну дистиляцію АПТЕС (для амінослюди з підвищеною щільністю заряду) і неперегнаний АПТЕС (для амінослюди зі зниженою щільністю заряду) за наведеним протоколом...