Патенти з міткою «низькоомна»
Засіб визначення концентрації незаповнених глибоких центрів у структурі низькоомна плівка-високоомна підложка
Номер патенту: 1621
Опубліковано: 25.10.1994
Автори: Горев Микола Борисович, Уколов Олексій Тихонович, Макарова Тетяна Вікторовна, Прохоров Євген Федорович
МПК: H01L 21/66
Мітки: структури, глибоких, центрів, визначення, низькоомна, концентрації, засіб, підложка, незаповнених, плівка-високоомна
Формула / Реферат:
Способ определения концентрации незаполненных глубоких центров в структурах низкоомная пленка—высокоомная подложка, включающий создание контактов к пленке, измерение зависимости тока от напряжения между контактами и вычисление искомой величины, отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения информативности способа по крайней мере один из контактов выполняют в виде прижимного зонда, создающего барьер Шоттки, прикладывают к нему...