Патенти з міткою «підложка»

Номер патенту: 1621

Опубліковано: 25.10.1994

Автори: Горев Микола Борисович, Прохоров Євген Федорович, Макарова Тетяна Вікторовна, Уколов Олексій Тихонович

МПК: H01L 21/66

Мітки: центрів, визначення, незаповнених, глибоких, концентрації, низькоомна, засіб, структури, плівка-високоомна, підложка

Формула / Реферат:

Способ определения концентрации незапол­ненных глубоких центров в структурах низкоомная пленка—высокоомная подложка, включаю­щий создание контактов к пленке, измерение зависимости тока от напряжения между кон­тактами и вычисление искомой величины, отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения информативности способа по крайней мере один из контактов выполняют в виде прижимного зонда, создающего барьер Шоттки, прикладывают к нему...