Патенти з міткою «нвч-польових»
Спосіб формування субмікронної електродної системи затворів нвч-польових транзисторів
Номер патенту: 23770
Опубліковано: 11.06.2007
Автори: Воронько Андрій Олександрович, Ларкін Сергій Юрійович, Костюкевич Сергій Олександрович
МПК: H01L 21/28
Мітки: субмікронної, електродної, нвч-польових, транзисторів, системі, спосіб, формування, затворів
Формула / Реферат:
Спосіб формування субмікронної електродної системи затворів НВЧ-польових транзисторів, який включає формування маски, осадження у вакуумі і видалення маски, який відрізняється тим, що для формування маски використовують фоторезист на основі шарів потрійного з'єднання:As40S60-x, де 5≤х≤25.