Арчулета Томас Артур
Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, камера реактора для осаджування алмазоподібного вуглецю та катодний блок камери
Номер патенту: 47445
Опубліковано: 15.07.2002
Автори: Арчулета Томас Артур, Девлін Девид Джеймс, Коутс Дон Мейо, Барберо Роберт Стівен
МПК: C23C 16/26, C23C 16/54, D06M 10/00 ...
Мітки: камера, покриття, вуглецю, осаджування, камери, катодний, спосіб, реактора, непровідного, вуглецем, алмазоподібного, алмазоподібним, волокна, блок
Формула / Реферат:
1. Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, який включає переміщення непровідного волокна між електродами усередині камери реактора,введення вуглеводневого газу у камеру ректора, генерацію плазми усередині камери реактора та формування покриття непровідного матеріалу алмазоподібним вуглецем, який відрізняється тим, що непровідне волокно переміщують усередині камери реактора між двома паралельними металевими сітками...