Барберо Роберт Стівен
Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, камера реактора для осаджування алмазоподібного вуглецю та катодний блок камери
Номер патенту: 47445
Опубліковано: 15.07.2002
Автори: Арчулета Томас Артур, Девлін Девид Джеймс, Барберо Роберт Стівен, Коутс Дон Мейо
МПК: C23C 16/54, D06M 10/00, C23C 16/26 ...
Мітки: алмазоподібного, покриття, камери, волокна, алмазоподібним, реактора, непровідного, вуглецю, камера, осаджування, вуглецем, катодний, блок, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, який включає переміщення непровідного волокна між електродами усередині камери реактора,введення вуглеводневого газу у камеру ректора, генерацію плазми усередині камери реактора та формування покриття непровідного матеріалу алмазоподібним вуглецем, який відрізняється тим, що непровідне волокно переміщують усередині камери реактора між двома паралельними металевими сітками...