Девлін Девид Джеймс
Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, камера реактора для осаджування алмазоподібного вуглецю та катодний блок камери
Номер патенту: 47445
Опубліковано: 15.07.2002
Автори: Арчулета Томас Артур, Коутс Дон Мейо, Девлін Девид Джеймс, Барберо Роберт Стівен
МПК: D06M 10/00, C23C 16/26, C23C 16/54 ...
Мітки: вуглецю, осаджування, волокна, реактора, спосіб, блок, покриття, алмазоподібним, катодний, алмазоподібного, непровідного, камери, вуглецем, камера
Формула / Реферат:
1. Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, який включає переміщення непровідного волокна між електродами усередині камери реактора,введення вуглеводневого газу у камеру ректора, генерацію плазми усередині камери реактора та формування покриття непровідного матеріалу алмазоподібним вуглецем, який відрізняється тим, що непровідне волокно переміщують усередині камери реактора між двома паралельними металевими сітками...