Коутс Дон Мейо
Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, камера реактора для осаджування алмазоподібного вуглецю та катодний блок камери
Номер патенту: 47445
Опубліковано: 15.07.2002
Автори: Девлін Девид Джеймс, Коутс Дон Мейо, Барберо Роберт Стівен, Арчулета Томас Артур
МПК: C23C 16/54, D06M 10/00, C23C 16/26 ...
Мітки: вуглецю, осаджування, волокна, блок, вуглецем, камера, алмазоподібним, покриття, непровідного, спосіб, катодний, камери, алмазоподібного, реактора
Формула / Реферат:
1. Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, який включає переміщення непровідного волокна між електродами усередині камери реактора,введення вуглеводневого газу у камеру ректора, генерацію плазми усередині камери реактора та формування покриття непровідного матеріалу алмазоподібним вуглецем, який відрізняється тим, що непровідне волокно переміщують усередині камери реактора між двома паралельними металевими сітками...