Бакалець Ігор Павлович
Спосіб виділення частини зливка вирощеного монокристала кремнію з заданою концентрацією домішки вуглецю
Номер патенту: 49103
Опубліковано: 16.09.2002
Автори: Берінгов Сергій Борисович, Шульга Юрій Григорович, Бакалець Ігор Павлович
МПК: C30B 33/00, B28D 5/00
Мітки: монокристала, частини, кремнію, виділення, домішки, спосіб, вирощеного, вуглецю, зливка, заданою, концентрацією
Формула / Реферат:
1. Спосіб виділення частини зливка вирощеного монокристала кремнію з заданою концентрацією домішки вуглецю, який включає відділення нижньої конусної частини зливка, визначення концентрації вуглецю на нижньому торці зливка, що утворився, і наступне відділення нижньої частини зливка з концентрацією вуглецю, що перевищує задану, який відрізняється тим, що попередньо визначають масу завантаження шихти для вирощування зливка монокристала,...