Бойко Степан Миколайович
Спосіб одержання тонкоплівкового елементу
Номер патенту: 2903
Опубліковано: 26.12.1994
Автори: Крутько Олександр Олексійович, Бойко Степан Миколайович, Бідник Дмитро Ілліч, Макогон Юрій Миколайович, Іллюк Ігор Євгенович, Сидоренко Сергій Іванович
МПК: H01L 21/28
Мітки: одержання, спосіб, тонкоплівкового, елементу
Формула / Реферат:
Способ получения тонкопленочного элемента, включающий осаждение вакуумного конденсата путем магнетронного распыления сплава на основе Al(Al-Cu) с добавкой Si (0,8-2,8%) на кремниевую подложку в одном вакуумном цикле в виде двухслойной структуры в среде аргона и термообработку конденсата при максимальной температуре 720±10 К в защитной от окисления среде в течение 15-20 минут, отличающийся тем, что конденсат осаждают при температуре подложки...