Іллюк Ігор Євгенович

Номер патенту: 2905

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Чекмезов Олександр Миколайович, Іллюк Ігор Євгенович, Михальчук Леонід Миколайович, Молчанов Костянтин Вікторович, Пенцак Іван Борисович, Воронцов Володимир Анатолійович, Бідник Дмитро Ілліч

МПК: G01N 27/20, G01R 17/00

Мітки: інтегральних, схем, відбраковки, спосіб, кмон

Формула / Реферат:

Способ отбраковки КМОП интегральных схем, включающий подачу на объект контроля испытательных воздействий между входными и питающими выводами, замер информативных параметров, сравнение их с эталонными значениями, отбраковку, отличающийся тем, что в качестве информативных параметров используют значения напряжения при номинальном и максимально допустимом токах, а в качестве эталона - нормируемое напряжение при номинальном токе, при этом сначала...

Номер патенту: 2903

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Сидоренко Сергій Іванович, Бойко Степан Миколайович, Іллюк Ігор Євгенович, Крутько Олександр Олексійович, Бідник Дмитро Ілліч, Макогон Юрій Миколайович

МПК: H01L 21/28

Мітки: одержання, спосіб, тонкоплівкового, елементу

Формула / Реферат:

Способ получения тонкопленочного элемента, включающий осаждение вакуумного конденсата путем магнетронного распыления сплава на основе Al(Al-Cu) с добавкой Si (0,8-2,8%) на кремниевую подложку в одном вакуумном цикле в виде двухслойной структуры в среде аргона и термообработку конденсата при максимальной температуре 720±10 К в защитной от окисления среде в течение 15-20 минут, отличающийся тем, что конденсат осаждают при температуре подложки...