Крутько Олександр Олексійович
Спосіб одержання тонкоплівкового елементу
Номер патенту: 2903
Опубліковано: 26.12.1994
Автори: Іллюк Ігор Євгенович, Бідник Дмитро Ілліч, Макогон Юрій Миколайович, Бойко Степан Миколайович, Крутько Олександр Олексійович, Сидоренко Сергій Іванович
МПК: H01L 21/28
Мітки: спосіб, елементу, тонкоплівкового, одержання
Формула / Реферат:
Способ получения тонкопленочного элемента, включающий осаждение вакуумного конденсата путем магнетронного распыления сплава на основе Al(Al-Cu) с добавкой Si (0,8-2,8%) на кремниевую подложку в одном вакуумном цикле в виде двухслойной структуры в среде аргона и термообработку конденсата при максимальной температуре 720±10 К в защитной от окисления среде в течение 15-20 минут, отличающийся тем, что конденсат осаждают при температуре подложки...