C30B 13/14 — тиглі або судини
Пристрій для вирощування монокристалів з контрольованим відхиленням від стехіометрії
Номер патенту: 65585
Опубліковано: 12.12.2011
Автори: Фочук Петро Михайлович, Гешл Павел, Феш Роман Миколайович, Копач Олег Вадимович
МПК: C30B 13/14, H01L 21/18
Мітки: відхиленням, монокристалів, вирощування, стехіометрії, пристрій, контрольованим
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вирощування монокристалів з контрольованим відхиленням від стехіометрії, що включає двозонну ростову піч опору з розміщеною в ній запаяною скляною ампулою росту з наважками компонентів, який відрізняється тим, що пристрій містить герметичний автоклав з можливістю регулювання тиску газу, в якому розміщено піч, в нижній частині якої знаходиться п'єдестал з розміщеною на ньому ампулою росту та компенсаційний ковпак, нижньою...