C30B 13/22 — опроміненням або електричним розрядом
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок
Номер патенту: 96809
Опубліковано: 25.02.2015
Автори: Овчарук Анатолій Миколайович, Гасик Михайло Іванович, Тутик Валерій Анатолієвич, Ян Міншен, Овчарук Дмитро Сергійович, Гречанюк Микола Іванович, Ліу Йонг, Патяка В'ячеслав Олексійович, Ян Хайян, Фільов Олександр Сергійович, Таран Олександр Юрійович
МПК: C01B 33/037, C30B 13/16, C30B 13/00 ...
Мітки: домішок, кремнію, очищення, шкідливих, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок, що включає розігрів неочищеного кремнію на першому етапі при тиску нижче атмосферного до утворення розплаву з використанням висококонцентрованого джерела енергії та обробку газовою сумішшю, яка включає інертний газ, відновлювальний газ та пари води, обробку поверхні розплаву електронним променем на другому етапі, який відрізняється тим, що здійснюють третій етап очищення, на якому проводять...
Спосіб одержання легованих монокристалів кремнію методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки і пристрій-натікач для його здійснення
Номер патенту: 100736
Опубліковано: 25.01.2013
Автори: Статкевич Ігор Іванович, Бабич Вілик Максимович, Піскун Наталія Василівна, Асніс Юхим Аркадійович, Баранський Петро Іванович
МПК: C30B 29/06, C30B 13/12, C30B 13/22 ...
Мітки: спосіб, плавки, зонної, методом, одержання, кремнію, безтигельної, електронно-променевої, легованих, пристрій-натікач, монокристалів, здійснення
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання легованих монокристалів кремнію методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки, який полягає в тому, що розплавляють зону вихідного стрижня дисковим електронним променем і подають легуючу домішку у плавильну камеру, яка вакуумується, при цьому газ легуючої домішки подають безпосередньо в плавильну камеру за допомогою пристрою-натікача, що включає циліндричний корпус з штуцерами для підключення входу і виходу...