Дудник Дмитро Петрович

Газоаналізатор

Завантаження...

Номер патенту: 42215

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович

МПК: G01N 21/61

Мітки: газоаналізатор

Формула / Реферат:

Газоаналізатор, що містить оптично зв'язані джерело випромінювання, кювету у вигляді інтегруючої сфери, світлофільтр та приймач випромінювання, при цьому внутрішнє покриття кювети виконано із матеріалу, що розсіює світло, а перед приймачем випромінювання встановлено світлорозсіюючий екран, який відрізняється тим, що в нього введено оптичний частотний перетворювач, що містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...

Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 42209

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович

МПК: G01N 21/00

Мітки: оптично, спектроскопії, матеріалів, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів, що містить джерело оптичного випромінювання, монохроматор у вигляді набору світлофільтрів, кювету з розміщеним в ній досліджуваним матеріалом, фотоперетворювач, який розміщений в центрі заглушеної основи кювети світлочутливим шаром перпендикулярно і безпосередньо до потоку оптичного випромінювання і відкритій основі кювети, та реєструючий прилад, який відрізняється тим, що як фотоперетворювач...

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення

Завантаження...

Номер патенту: 31519

Опубліковано: 10.04.2008

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович

МПК: H01L 21/302

Мітки: визначення, плазмохімічного, закінчення, процесу, спосіб, травлення, моменту

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає розміщення підкладок у вакуумній камері, напуск робочого газу в процесі травлення, запалювання розряду, введення в зону розряду електричного зонда, відкачку продуктів реакції в процесі травлення, реєстрацію аналогового зондового сигналу, який відрізняється тим, що зареєстрований сигнал перетворюють в частотний, за зміною якого визначають момент закінчення...