Дудник Дмитро Петрович
Газоаналізатор
Номер патенту: 42215
Опубліковано: 25.06.2009
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович
МПК: G01N 21/61
Мітки: газоаналізатор
Формула / Реферат:
Газоаналізатор, що містить оптично зв'язані джерело випромінювання, кювету у вигляді інтегруючої сфери, світлофільтр та приймач випромінювання, при цьому внутрішнє покриття кювети виконано із матеріалу, що розсіює світло, а перед приймачем випромінювання встановлено світлорозсіюючий екран, який відрізняється тим, що в нього введено оптичний частотний перетворювач, що містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...
Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів
Номер патенту: 42209
Опубліковано: 25.06.2009
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович
МПК: G01N 21/00
Мітки: оптично, спектроскопії, матеріалів, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів, що містить джерело оптичного випромінювання, монохроматор у вигляді набору світлофільтрів, кювету з розміщеним в ній досліджуваним матеріалом, фотоперетворювач, який розміщений в центрі заглушеної основи кювети світлочутливим шаром перпендикулярно і безпосередньо до потоку оптичного випромінювання і відкритій основі кювети, та реєструючий прилад, який відрізняється тим, що як фотоперетворювач...
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Номер патенту: 31519
Опубліковано: 10.04.2008
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович
МПК: H01L 21/302
Мітки: визначення, плазмохімічного, закінчення, процесу, спосіб, травлення, моменту
Формула / Реферат:
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає розміщення підкладок у вакуумній камері, напуск робочого газу в процесі травлення, запалювання розряду, введення в зону розряду електричного зонда, відкачку продуктів реакції в процесі травлення, реєстрацію аналогового зондового сигналу, який відрізняється тим, що зареєстрований сигнал перетворюють в частотний, за зміною якого визначають момент закінчення...