Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Номер патенту: 31519
Опубліковано: 10.04.2008
Формула / Реферат
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає розміщення підкладок у вакуумній камері, напуск робочого газу в процесі травлення, запалювання розряду, введення в зону розряду електричного зонда, відкачку продуктів реакції в процесі травлення, реєстрацію аналогового зондового сигналу, який відрізняється тим, що зареєстрований сигнал перетворюють в частотний, за зміною якого визначають момент закінчення процесу плазмохімічного травлення.
Текст
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає 3 31519 параметру за рахунок використання частотного перетворювача, в якому зміна вхідної напруги перетворюється в ефективну зміну резонансної частоти, при цьому можлива лінеаризація функції перетворення шляхом вибору величини напруги живлення частотного перетворювача. На кресленні наведено схему пристрою для визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення для реалізації зазначеного способу. Пристрій містить електричний зонд 1, що розташований у вакуумній камері 2, в якій розташовані підложки 7, електричний зонд 1 захищений діелектричним корпусом 3, вихід електричного зонду 1 зв’язаний з пристроєм для реєстрації зондового сигналу 4, та вихід якого Комп’ютерна верстка О. Рябко 4 через подільник напруги 5 з’єднаний з частотним перетворювачем 6. Спосіб здійснюється наступним чином. У вакуумній камері 2 розміщують підложки 7, проводять відкачку камери, напуск робочого газу та запалюють розряд, проводять введення електричного зонду 1 у зону розряду, та відкачку продуктів реакції в процесі травлення, при цьому плаваючий потенціал електричного зонда 1 змінюється, що призводить до зміни напруги, яка реєструється пристроєм для реєстрації аналогового зондового сигналу 4 і через подільник напруги 5 подається на частотний перетворювач 6 та викликає зміну частотного сигналу на його виході, по зміні якого і визначають момент закінчення процесу плазмохімічного травлення. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюMethod for determination of finishing plasmochemical etching process
Автори англійськоюKravchenko Yurii Stepanovych, Dudnyk Dmytro Petrovych
Назва патенту російськоюСпособ определения момента окончания процесса плазмохимического травления
Автори російськоюКравченко Юрий Степанович, Дудник Дмитрий Петрович
МПК / Мітки
МПК: H01L 21/302
Мітки: закінчення, процесу, спосіб, визначення, плазмохімічного, моменту, травлення
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-31519-sposib-viznachennya-momentu-zakinchennya-procesu-plazmokhimichnogo-travlennya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення</a>
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Номер патенту: 26976
Опубліковано: 10.10.2007
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: визначення, травлення, закінчення, процесу, моменту, плазмохімічного, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, який відрізняється тим, що інформативне і фонове оптичне випромінювання за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 9698
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА
МПК: H01L 21/302
Мітки: плазмового, пристрій, моменту, травлення, процесу, визначення, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 26975
Опубліковано: 10.10.2007
Автори: Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: моменту, пристрій, плазмового, визначення, процесу, закінчення, травлення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з частотним фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено другий і третій біполярні транзистори, другу ємність, другий, третій, четвертий і п'ятий...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 9700
Опубліковано: 17.10.2005
Автори: ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: плазмового, визначення, пристрій, закінчення, моменту, процесу, травлення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори,...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 4229
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: травлення, визначення, плазмового, закінчення, пристрій, процесу, моменту
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...
Попередній патент: Багатоствольна артилерійська установка імпульсного пожежогасіння
Наступний патент: Світильник сигнальний
Випадковий патент: Пристрій для руйнування льодяних пробок