Голєв Євген Олександрович
Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію
Номер патенту: 83364
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Іваніщев Олексій Григорович, Голєв Євген Олександрович, Крігер Олександр Сергійович, Трегуб Олексій Михайлович, Реков Юрій Васильович
МПК: C01B 33/035, C23C 16/00
Мітки: кріплення, тримач, полікристалічного, прутків-підкладок, реакторі, вирощування, кремнію
Формула / Реферат:
1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...
Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію
Номер патенту: 71537
Опубліковано: 10.07.2012
Автори: Онопрієнко Андрій Андрійович, Голєв Євген Олександрович, Сіренко Сергій Іванович, Трегуб Олексій Михайлович
МПК: C01B 33/107
Мітки: гідрування, пристрій, кремнію, тетрахлориду
Формула / Реферат:
1. Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію, що включає корпус із засобами для підведення парогазової суміші вихідних продуктів та відведення парогазової суміші продуктів реакції, а також нагрівачі з вуглець-вуглецевого матеріалу, встановлені всередині корпусу та з'єднані зі струмопідводами, що виходять з корпусу, який відрізняється тим, що нагрівачі попарно з'єднані графітовою перемичкою та включають щонайменше дві нагрівальні пластини,...