Іваніщев Олексій Григорович
Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію
Номер патенту: 83364
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Іваніщев Олексій Григорович, Трегуб Олексій Михайлович, Крігер Олександр Сергійович, Реков Юрій Васильович, Голєв Євген Олександрович
МПК: C23C 16/00, C01B 33/035
Мітки: реакторі, кріплення, вирощування, полікристалічного, тримач, кремнію, прутків-підкладок
Формула / Реферат:
1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...