Трегуб Олексій Михайлович

Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 83364

Опубліковано: 10.09.2013

Автори: Трегуб Олексій Михайлович, Голєв Євген Олександрович, Іваніщев Олексій Григорович, Крігер Олександр Сергійович, Реков Юрій Васильович

МПК: C23C 16/00, C01B 33/035

Мітки: вирощування, реакторі, полікристалічного, прутків-підкладок, кріплення, кремнію, тримач

Формула / Реферат:

1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...

Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 71537

Опубліковано: 10.07.2012

Автори: Трегуб Олексій Михайлович, Голєв Євген Олександрович, Онопрієнко Андрій Андрійович, Сіренко Сергій Іванович

МПК: C01B 33/107

Мітки: гідрування, пристрій, тетрахлориду, кремнію

Формула / Реферат:

1. Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію, що включає корпус із засобами для підведення парогазової суміші вихідних продуктів та відведення парогазової суміші продуктів реакції, а також нагрівачі з вуглець-вуглецевого матеріалу, встановлені всередині корпусу та з'єднані зі струмопідводами, що виходять з корпусу, який відрізняється тим, що нагрівачі попарно з'єднані графітовою перемичкою та включають щонайменше дві нагрівальні пластини,...