Трегуб Олексій Михайлович

Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 83364

Опубліковано: 10.09.2013

Автори: Іваніщев Олексій Григорович, Реков Юрій Васильович, Трегуб Олексій Михайлович, Крігер Олександр Сергійович, Голєв Євген Олександрович

МПК: C01B 33/035, C23C 16/00

Мітки: вирощування, тримач, прутків-підкладок, кріплення, полікристалічного, реакторі, кремнію

Формула / Реферат:

1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...

Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію

Завантаження...

Номер патенту: 71537

Опубліковано: 10.07.2012

Автори: Онопрієнко Андрій Андрійович, Голєв Євген Олександрович, Трегуб Олексій Михайлович, Сіренко Сергій Іванович

МПК: C01B 33/107

Мітки: тетрахлориду, гідрування, кремнію, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію, що включає корпус із засобами для підведення парогазової суміші вихідних продуктів та відведення парогазової суміші продуктів реакції, а також нагрівачі з вуглець-вуглецевого матеріалу, встановлені всередині корпусу та з'єднані зі струмопідводами, що виходять з корпусу, який відрізняється тим, що нагрівачі попарно з'єднані графітовою перемичкою та включають щонайменше дві нагрівальні пластини,...