Трегуб Олексій Михайлович
Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію
Номер патенту: 83364
Опубліковано: 10.09.2013
Автори: Трегуб Олексій Михайлович, Голєв Євген Олександрович, Іваніщев Олексій Григорович, Крігер Олександр Сергійович, Реков Юрій Васильович
МПК: C23C 16/00, C01B 33/035
Мітки: вирощування, реакторі, полікристалічного, прутків-підкладок, кріплення, кремнію, тримач
Формула / Реферат:
1. Тримач для кріплення прутків-підкладок у реакторі вирощування полікристалічного кремнію, який містить перехідник із встановленим у ньому цанговим фіксатором для розміщення прутка-підкладки, що має встановлювальну частину, металевий охолоджуваний струмоввід, з'єднаний з електродом, при цьому струмоввід має приймальне гніздо, в якому розміщена встановлювальна частина перехідника, який відрізняється тим, що глибина приймального гнізда...
Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію
Номер патенту: 71537
Опубліковано: 10.07.2012
Автори: Трегуб Олексій Михайлович, Голєв Євген Олександрович, Онопрієнко Андрій Андрійович, Сіренко Сергій Іванович
МПК: C01B 33/107
Мітки: гідрування, пристрій, тетрахлориду, кремнію
Формула / Реферат:
1. Пристрій для гідрування тетрахлориду кремнію, що включає корпус із засобами для підведення парогазової суміші вихідних продуктів та відведення парогазової суміші продуктів реакції, а також нагрівачі з вуглець-вуглецевого матеріалу, встановлені всередині корпусу та з'єднані зі струмопідводами, що виходять з корпусу, який відрізняється тим, що нагрівачі попарно з'єднані графітовою перемичкою та включають щонайменше дві нагрівальні пластини,...