Гурін Анатолій Андрійович

Номер патенту: 5642

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Хоббіхожин Шаміль Абдурахмановіч, Трипута Геннадій Олександрович, Гурін Анатолій Андрійович, Хоменко Павло Хомич, Семенюк Валерій Федорович

МПК: C23C 14/02, H01L 21/302

Мітки: іонно-плазмової, обробки, пристрій

Формула / Реферат:

(57) Устройство для ионно-плазменной обра­ботки, содержащее вакуумную камеру, в ко­торой размещены разрядные электроды, подключенные к двум независимым источ­никам ВЧ-напряжения и разделенные промежуточным заземленным электродом с от­верстием, при этом обрабатываемое изде­лие размещено на одном из разрядных электродов напротив отверстия промежу­точного электрода, отличающееся тем, что оно снабжено дополнительным элект­родом, размещенным на...