Хоменко Павло Хомич

Номер патенту: 6722

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Семенюк Валерій Федорович, Кругленко Михайло Петрович, Хоменко Павло Хомич, Трипута Геннадій Олександрович

МПК: C23C 14/32

Мітки: пристрій, іонно-плазмового, матеріалів, травлення

Формула / Реферат:

(57) Устройство для ионно-плазменного травления материалов, содержащее вакуумную камеру, у торцов которой по оси камеры размещены плоские электроды, на одном из которых размещено обрабатываемое изделие, электроды подключены к источникам высокочастотного напряжения и разделены заземленным сетчатым экраном, отличающееся тем, что оно снабжено электромагнитной катушкой, расположенной соосно с камерой со стороны электрода, противолежащего...

Номер патенту: 5642

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Хоббіхожин Шаміль Абдурахмановіч, Хоменко Павло Хомич, Трипута Геннадій Олександрович, Гурін Анатолій Андрійович, Семенюк Валерій Федорович

МПК: C23C 14/02, H01L 21/302

Мітки: обробки, іонно-плазмової, пристрій

Формула / Реферат:

(57) Устройство для ионно-плазменной обра­ботки, содержащее вакуумную камеру, в ко­торой размещены разрядные электроды, подключенные к двум независимым источ­никам ВЧ-напряжения и разделенные промежуточным заземленным электродом с от­верстием, при этом обрабатываемое изде­лие размещено на одном из разрядных электродов напротив отверстия промежу­точного электрода, отличающееся тем, что оно снабжено дополнительным элект­родом, размещенным на...