H01L 29/43 — характеризуються матеріалами, з яких вони сформовані
Спосіб отримання наноструктурованої плівки оксиду вольфраму для газових сенсорів
Номер патенту: 95155
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Литовченко Володимир Григорович, Солнцев В'ячеслав Сергійович, Горбанюк Теятна Іванівна
МПК: H01L 21/223, B82Y 30/00, H01L 21/203 ...
Мітки: спосіб, газових, сенсорів, отримання, наноструктурованої, оксиду, плівки, вольфраму
Формула / Реферат:
Спосіб отримання наноструктурованої плівки оксиду вольфраму (WO3) для газових сенсорів шляхом термічного окислення вольфраму (W) в атмосфері кисню (O2), який відрізняється тим, що вольфрамову плівку товщиною 20-100 нм наносять на кремнієву підкладку (Si) р-типу методом магнетронного розпилення вольфрамової (W) мішені, після чого проводять процес термічного окислення при температурі 400-600 °C, швидкості потоку О2 10-20 см3/с та часу...