H03K 19/0948 — з використанням комплементарних МОП-структур
Інвертор на основі структур кремній-на-ізоляторі
Номер патенту: 7677
Опубліковано: 15.07.2005
Автори: Дружинін Анатолій Олександрович, Павлиш Володимир Андрійович, Когут Ігор Тимофійович, Ховерко Юрій Миколайович
МПК: H03K 19/0948, H01L 27/12
Мітки: основі, структур, кремній-на-ізоляторі, інвертор
Формула / Реферат:
1. Інвертор на основі структур кремній-на-ізоляторі, що складається з монокристалічної кремнієвої підкладки з послідовно розміщеними на ній шарами ізолюючого окислу, рекристалізованого полікремнію з активними областями каналів навантажувального та ключового транзисторів протилежних типів провідності, що включають області стоків та витоків, підзатворного діелектрика й електродів затворів із полікремнію, які з'єднані між собою і є входом...