Карась Микола Іванович
Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву
Номер патенту: 23104
Опубліковано: 10.05.2007
Автори: Єгоров Сергій Геннадійович, Червоний Іван Федорович, Швець Євген Якович, Комаринський Олексій Миколайович, Воляр Роман Миколайович, Карась Микола Іванович
МПК: C30B 15/02
Мітки: вирощування, розплаву, кремнію, монокристалів, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву за методом Чохральського, що включає вирощування монокристалів кремнію з розплаву кремнію, який знаходиться в кварцовому тиглі, шляхом введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра, вирощування циліндричної частини монокристала і "протилежного конуса", відривання монокристала від...