Єгоров Сергій Геннадійович

Номер патенту: 53507

Опубліковано: 11.10.2010

Автори: Реков Юрій Васильович, Єгоров Сергій Геннадійович, Червоний Іван Федорович, Воляр Роман Миколайович

МПК: C30B 13/00

Мітки: кремнії, полікристалічному, бору, вмісту, визначення, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії, що включає вирізку і шліфування заготовки з початкового полікристалічного кремнієвого стрижня, хімічне травлення і відмивання її деіонізованою водою, сушіння заготовки, проведення безтигельної зонної плавки, вимірювання на плавленому стрижні питомого електричного опору, який відрізняється тим, що безтигельну зонну плавку проводять в дві стадії, після кожної вимірюють в контрольних...

Номер патенту: 35367

Опубліковано: 10.09.2008

Автори: Єгоров Сергій Геннадійович, Воляр Роман Миколайович, Пожуєв Володимир Іванович, Швець Євген Якович, Головко Юрій Вікторович

МПК: C30B 15/00

Мітки: вирощування, спосіб, кремнію, розплаву, монокристалів

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву, що включає введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра, вирощування циліндричної частини монокристала, відрив монокристала від розплаву, охолодження монокристала, який відрізняється тим, що товщину розплаву під фронтом кристалізації монокристала підтримують рівною 0,3...0,5 радіусу...

Номер патенту: 34160

Опубліковано: 25.07.2008

Автори: Швець Євген Якович, Воляр Роман Миколайович, Пожуєв Володимир Іванович, Єгоров Сергій Геннадійович, Головко Юрій Вікторович

МПК: C30B 15/00

Мітки: кремнію, спосіб, вирощування, монокристалів, розплаву

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву за методом Чохральського в середовищі інертного газу, що включає вирощування монокристалів кремнію з розплаву кремнію, щознаходиться в кварцовому тиглі, шляхом введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра і вирощування циліндрової частини монокристала, який відрізняється тим, що при довжині...

Номер патенту: 30445

Опубліковано: 25.02.2008

Автори: Тутик Валерій Анатолійович, Червоний Іван Федорович, Єгоров Сергій Геннадійович, Гасик Михайло Іванович, Воляр Роман Миколайович, Пожуєв Володимир Іванович

МПК: C30B 15/00

Мітки: домішки, монокристалів, розплаву, кисню, вирощування, кремнію, заданою, спосіб, концентрацією

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву із заданою концентрацією домішки кисню по методу Чохральського, що включає приготування початкової шихти і її розплавлення в кварцовому тиглі, вирощування монокристалів кремнію з розплаву кремнію, що знаходиться в кварцовому тиглі, шляхом введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра, вирощування...

Номер патенту: 23104

Опубліковано: 10.05.2007

Автори: Карась Микола Іванович, Воляр Роман Миколайович, Єгоров Сергій Геннадійович, Швець Євген Якович, Комаринський Олексій Миколайович, Червоний Іван Федорович

МПК: C30B 15/02

Мітки: кремнію, монокристалів, спосіб, розплаву, вирощування

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву за методом Чохральського, що включає вирощування монокристалів кремнію з розплаву кремнію, який знаходиться в кварцовому тиглі, шляхом введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра, вирощування циліндричної частини монокристала і "протилежного конуса", відривання монокристала від...

Номер патенту: 22770

Опубліковано: 25.04.2007

Автори: Єгоров Сергій Геннадійович, Червоний Іван Федорович, Воляр Роман Миколайович

МПК: C30B 15/02

Мітки: розплаву, кремнію, вирощування, спосіб, монокристалів

Формула / Реферат:

Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву за методом Чохральського, що включає вирощування монокристалів кремнію з розплаву кремнію, що знаходиться в кварцовому тиглі, шляхом введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра, вирощування циліндричної частини монокристала і "протилежного конуса", відрив монокристала від розплаву,...