Комаринський Олексій Миколайович
Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву
Номер патенту: 23104
Опубліковано: 10.05.2007
Автори: Карась Микола Іванович, Воляр Роман Миколайович, Єгоров Сергій Геннадійович, Комаринський Олексій Миколайович, Червоний Іван Федорович, Швець Євген Якович
МПК: C30B 15/02
Мітки: кремнію, монокристалів, розплаву, вирощування, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб вирощування монокристалів кремнію з розплаву за методом Чохральського, що включає вирощування монокристалів кремнію з розплаву кремнію, який знаходиться в кварцовому тиглі, шляхом введення кремнієвої монокристалічної затравки в розплав кремнію, вирощування "шийки", розрощування монокристала до заданого діаметра, вирощування циліндричної частини монокристала і "протилежного конуса", відривання монокристала від...