Коганович Елла Борисівна
Спосіб пасивації поверхні монокристалічного кремнію
Номер патенту: 25457
Опубліковано: 10.08.2007
Автори: Манойлов Едуард Геннадійович, Бєгун Євгенія Валеріївна, Коганович Елла Борисівна, Малютенко Володимир Костянтинович, Кізяк Ірина Миронівна, Чирчик Сергій Васильович
МПК: H01L 21/02
Мітки: монокристалічного, пасивації, спосіб, поверхні, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб пасивації поверхні монокристалічного кремнію, що включає вилучення природного оксиду кремнію з його поверхні, нанесення оксидної плівки та активацію межі її розподілу з кремнієм, який відрізняється тим, що природний оксид кремнію видаляють травленням поверхні кремнію в 25-50 % HF розчині протягом 3-10 хвилин при кімнатній температурі, нанесення оксидної плівки та активацію межі її розподілу з кремнієм проводять одностадійно...